一種識(shí)別用于測(cè)量微電子特征所需尺寸的計(jì)量工具系統(tǒng)中的失效的方法,其中的每個(gè)計(jì)量工具運(yùn)行多個(gè)配方以測(cè)量微電子特征所需尺寸,每個(gè)配方包括測(cè)量微電子特征的至少一個(gè)尺寸的一組指令。該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)有微電子特征尺寸測(cè)量中的失效的誤差記錄。該方法包括從上述的失效中確定由計(jì)量工具所使用的配方的誤差的歸一化數(shù)量、識(shí)別誤差記錄中具有最大歸一化誤差數(shù)量的一個(gè)或多個(gè)配方、在由計(jì)量工具執(zhí)行的作業(yè)列表中識(shí)別所述具有最大歸一化誤差數(shù)量的配方以及從所述配方中確定一個(gè)或多個(gè)配方的誤差的原因。然后改變具有最大歸一化誤差數(shù)量的配方以校正其中的誤差,跟蹤具有所述已經(jīng)改變的一個(gè)或多個(gè)配方的計(jì)量工具作業(yè)以確定是否已經(jīng)校正了誤差原因。
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“計(jì)量工具的誤差記錄分析方法和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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