本申請公開了一種晶圓允收測試結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)將兩套測試圖案結(jié)合起來,不但能夠監(jiān)控金屬互連層失效問題,而且能夠監(jiān)控金屬互連層之間的連接孔的失效問題,因此能夠更有效、全面地監(jiān)控金屬-氧化物-金屬(MOM)器件的失效問題。
聲明:
“晶圓允收測試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)