本發(fā)明提供了一種掩膜板修復(fù)方法及掩膜板組件,掩膜板修復(fù)方法包括將掩膜板主體與基板對(duì)位,之后檢測(cè)掩膜板上開口的偏位情況,檢測(cè)步驟包括:對(duì)位檢測(cè)設(shè)備抓取掩膜板主體上的開口邊緣坐標(biāo),將開口邊緣坐標(biāo)與存儲(chǔ)器中相應(yīng)的預(yù)設(shè)開口邊緣坐標(biāo)進(jìn)行比對(duì),根據(jù)開口邊緣坐標(biāo)與預(yù)設(shè)開口邊緣坐標(biāo)的比對(duì)結(jié)果獲取開口邊緣與相應(yīng)的預(yù)設(shè)開口邊緣之間的偏位情況,其中,開口的偏位情況包括開口邊緣位于相應(yīng)的預(yù)設(shè)開口邊緣的內(nèi)側(cè)以及開口邊緣位于相應(yīng)的預(yù)設(shè)開口邊緣的外側(cè),之后根據(jù)掩膜板上開口的偏位情況進(jìn)行處理以使得開口符合預(yù)設(shè)開口標(biāo)準(zhǔn)。該掩膜板修復(fù)方法能夠修復(fù)掩膜板上開口的偏位問題,避免制作的目標(biāo)膜層失效的問題。
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“掩膜板修復(fù)方法及掩膜板組件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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