本發(fā)明公開一種敏感膜、MEMS麥克風(fēng)及其制作方法,該敏感膜包括感測部,用于感測振動(dòng)信號(hào);連接部,所述連接部環(huán)繞所述感測部設(shè)置,并用于固定所述感測部;動(dòng)作部,所述動(dòng)作部連接所述感測部和所述連接部,所述動(dòng)作部的剛度小于所述感測部的剛度和/或所述連接部的剛度;以及補(bǔ)強(qiáng)部,所述補(bǔ)強(qiáng)部設(shè)于所述動(dòng)作部。本發(fā)明技術(shù)方案旨在提高敏感膜的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,降低敏感膜破裂失效的概率。
聲明:
“敏感膜、MEMS麥克風(fēng)及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)