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單片硅基微壓傳感器

979   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 09:37:12
本實用新型公開了一種單片硅基微壓傳感器，包括硅片主體，硅片主體包括相互鍵合于一起的硅基片和彈性硅膜，硅基片和彈性硅膜之間設置有第一二氧化硅層，硅基片之中設置有腐蝕坑，腐蝕坑之中設置有背島結構，背島結構包括用于穩(wěn)定測量的背島和包裹背島設置的腐蝕自終止結構。由于背島被腐蝕自終止結構所包裹，因此只需調節(jié)腐蝕自終止結構所包裹的范圍大小，即可靈活準確設置背島的大小，從而能夠使背島不會受到硅基片的厚度限制，從而能夠提高產出率、降低成本，還能夠克服大背島的自重效應，從而提高穩(wěn)定性，避免出現背島與玻璃鍵合而導致器件失效的問題，從而能夠形成厚度一致性好、靈敏度一致性好的彈性硅膜，從而適宜于大規(guī)模生產。
聲明：
“單片硅基微壓傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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