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冶金級高效多晶硅片的制備方法

946   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-18 14:32:44
本發(fā)明公開了冶金級高效多晶硅片的制備方法，將冶金硅、添加劑和硼的固化劑混合后置入爐膛中，抽真空，充入氬氣，爐膛升溫，使冶金硅熔化為硅熔體，保持硅熔體溫度在900?1000℃，恒溫熔煉3.5?4.5h；爐膛內抽真空，硅熔體溫度保持在900?1000℃，并在氬等離子體流量為280?320ml/min，真空熔煉0.3?0.8h；爐膛抽真空，同時調整硅熔體溫度到1400?1500℃，保溫并靜置、降溫至室溫得到硅錠；再經過切割、表面清洗，即得冶金級高效多晶硅片。本發(fā)明通過高效冶金硅片轉換效率提升技術，通過高還原性添加劑和硼的固化劑，并延長固化時間，保證產品能達到99.999％，提高少子壽命，降低生產成本。
聲明：
“冶金級高效多晶硅片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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