本發(fā)明涉及真空冶金技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種重量純度超過99.99%的高純金屬鑄錠的制造方法。一種高純金屬鑄錠的制造方法,其特征在于其具體工藝過程為:(1)將重量純度≥99.99%的金屬原料進行備料、裝爐、抽真空;(2)電子束對金屬原料進行加熱融化,得到金屬熔體;(3)經(jīng)步驟(2)融化后得到的金屬熔體進入采用電磁感應(yīng)加熱方式的水冷坩堝中繼續(xù)進行熔煉,實現(xiàn)除雜、除氣;(4)經(jīng)步驟(3)得到的熔體進入水冷結(jié)晶器,成型得到高純金屬鑄錠。本發(fā)明方法能夠充分控制鑄錠中雜質(zhì)及氣體含量,所制備的高純金屬鑄錠,具有純度高,鑄錠物理性好、成材率高、產(chǎn)品規(guī)格多樣化等優(yōu)點,滿足集成電路等對于高端薄膜制備的性能要求。
聲明:
“高純金屬鑄錠的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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