本實用新型公開了一種
多晶硅定向提純爐,屬于多晶硅的提純領(lǐng)域,用以解決多晶硅熔煉過程中的高溫?fù)]發(fā)性雜質(zhì)對多晶硅定向提純爐、
真空泵組造成損害的問題。本實用新型包括爐體和真空抽氣裝置,所述真空抽氣裝置包括真空管路、安裝在真空管路上的比例閥和滑閥泵,真空管路上設(shè)置換熱器和過濾器,換熱器、過濾器、比例閥和滑閥泵按照爐體內(nèi)氣體排出方向依次設(shè)置。其解決了爐體內(nèi)高溫?fù)]發(fā)性雜質(zhì)高溫、沉積從而對爐體的造成損害的問題,延長了整個設(shè)備的使用壽命。
聲明:
“多晶硅定向提純爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)