本實(shí)用新型提出了一種
多晶硅鑄錠用提純爐,包括:導(dǎo)熱筒體;導(dǎo)熱筒體外繞有螺旋盤管式加熱電極;螺旋盤管式加熱電極外套有爐體;爐體與螺旋盤管式加熱電極之間填充有保溫材料;導(dǎo)熱筒體內(nèi)設(shè)置有坩堝;爐體外壁上設(shè)置有抽真空裝置;離心裝置設(shè)于爐體下方,并與坩堝通過(guò)離心裝置的主軸固定連接。本實(shí)用新型中導(dǎo)熱筒體及其外圍的螺旋盤管式加熱電極能夠提高加熱效果,使得爐體內(nèi)溫度均勻,節(jié)省導(dǎo)熱筒體空間,提高空間利用率;通過(guò)采用離心裝置對(duì)多晶硅進(jìn)行提純,提高了晶硅太陽(yáng)能對(duì)多晶硅純度的要求。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,采用本實(shí)用新型的提純爐得到的多晶硅中磷在5ppm以下,硼在0.3ppm以下,符合晶硅太陽(yáng)能對(duì)多晶硅純度的要求。
聲明:
“多晶硅鑄錠用提純爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)