本發(fā)明提供了一種物理冶金
多晶硅太陽能電池的磷擴(kuò)散方法,包括,1)將清洗制絨后的硅片進(jìn)行第一恒溫?zé)崽幚恚?)將經(jīng)步驟1)處理后的硅片進(jìn)行第二恒溫?zé)崽幚恚?)將經(jīng)步驟2)處理后的硅片進(jìn)行氧化處理;4)向步驟3)處理后的硅片通磷源進(jìn)行磷擴(kuò)散處理;5)將經(jīng)步驟4)處理后的硅片進(jìn)行退火處理。本發(fā)明的擴(kuò)散方法應(yīng)用于物理冶金硅太陽電池制備中,可節(jié)約成本,提高產(chǎn)能,所形成的PN結(jié),表面雜質(zhì)濃度低,雜質(zhì)分布均勻,擴(kuò)散均勻性好,減小了死層效應(yīng),有利于電子的收集,降低了太陽能電池因復(fù)合造成的效率損失,從而提高了
電池片的最終光電轉(zhuǎn)換效率。
聲明:
“物理冶金多晶硅太陽能電池的磷擴(kuò)散方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)