本發(fā)明涉及定向凝固技術(shù),尤其是一種冶金法
多晶硅制備過程中的燃?xì)饧訜岫ㄏ蚰虪t,解決現(xiàn)有的定向凝固法熱源選擇單一、運(yùn)行成本較高的問題,包括支撐鋼座,設(shè)置在支撐鋼座底部中間部位的升降機(jī)構(gòu),固定在支撐鋼座上的爐體,其特征是所述的升降機(jī)構(gòu)上方裝有支撐臺(tái),支撐臺(tái)上方設(shè)有坩堝,坩堝位于爐體的芯部,爐體包括殼體,殼體內(nèi)側(cè)設(shè)有爐墻,爐墻內(nèi)側(cè)是泡沫陶瓷層,泡沫陶瓷層內(nèi)側(cè)是坩堝保護(hù)層,坩堝保護(hù)層與坩堝緊貼,爐墻中設(shè)有燒嘴通道,爐墻和泡沫陶瓷層之間設(shè)有間隙,沿坩堝上下方向分為若干個(gè)加熱區(qū),每一個(gè)加熱區(qū)設(shè)有若干個(gè)燒嘴。可采用燃?xì)饽茉刺娲娔?加熱過程可控,節(jié)約能源,且造價(jià)低廉。
聲明:
“燃?xì)饧訜岫ㄏ蚰虪t” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)