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增強(qiáng)光電性能Zr元素?fù)诫sAZO靶材

829   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:48:02
Zr元素?fù)诫sAZO靶材, 采用粉末冶金法工藝方法,將原料粉ZrO2粉與AZO粉混合,使摻雜的ZrO2含量為0.5%,然后對原料粉體進(jìn)行球磨處理,得到粒度細(xì)而均勻的類球形顆粒;將處理過的粉末進(jìn)行裝模;裝模后進(jìn)行冷等靜壓,壓力范圍100MPa~200MPa,而后進(jìn)行燒制,燒制溫度范圍為1200℃~1500℃;目的是優(yōu)化晶體結(jié)構(gòu)和表面形貌,增強(qiáng)AZO薄膜的光電特性,提高薄膜的穩(wěn)定性。從而完善薄膜性能、降低反應(yīng)溫度、提高控制精度、降低制備成本和適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“增強(qiáng)光電性能Zr元素?fù)诫sAZO靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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