一種在金屬材料表面鍍膜獲得耐高溫涂層的鋁鈦鎢三元合金靶材及其制備方法。一種鋁鈦鎢合金靶材的制備方法,該鋁鈦鎢靶材由以下原子百分比的原料制成:鋁粉60%~70%,鈦粉30~40%,鎢粉1~10%。本發(fā)明還包括鋁鈦鎢合金靶材的粉末熱壓燒結(jié)和真空熱處理方法。本發(fā)明利用鋁粉、鈦粉的活性,在真空條件下與鎢粉實(shí)現(xiàn)燒結(jié)成形,然后再在高溫下真空長(zhǎng)時(shí)間退火,利用鋁原子和鈦原子的均勻化擴(kuò)散作用,實(shí)現(xiàn)和添加的元素鎢之間的冶金結(jié)合,在溫度和壓力的共同作用下,該靶材致密度高,提高了粉末燒結(jié)的效果,簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝,是一種短流程、易操作的靶材生產(chǎn)過程,有利于提高生產(chǎn)效率。
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