本發(fā)明公開了一種微弧氧化制備鈦酸鍶鋇介電薄膜及其方法,包括如下步驟:配置電解液采用乙酸鋇或乙酸鍶或兩者的混合液,其中乙酸鋇溶液的摩爾濃度在0~2.0mol/L之間,乙酸鍶溶液的摩爾濃度在0~1.2mol/L之間;采用直流脈沖電源,電流密度為10~50A/dm2,脈沖頻率為50~250Hz,占空比為60%~95%,處理時(shí)間為6~60min;將
鈦金屬基體連接到陽極,反應(yīng)時(shí)控制電解液的溫度保持在50~60℃之間;反應(yīng)后,取下被處理的鈦金屬,用蒸餾水沖洗,烘干。本發(fā)明工序簡(jiǎn)單、成膜速度快,薄膜與基體Ti的結(jié)合為冶金結(jié)合,薄膜具有優(yōu)異的介電性能。
聲明:
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