本發(fā)明公開了一種提高硅料酸洗除雜效果的方法,包括將已經(jīng)過普通酸洗充分除雜的硅粉、或已通過其它提純技術(shù)處理達(dá)到較高純度而無法以普通酸洗進(jìn)一步提純的硅粉,在1200-1400℃下于空氣和氮?dú)獾幕旌蠚怏w中保溫1-4小時(shí),然后進(jìn)行普通酸洗除雜。用本發(fā)明方法可顯著提高普通酸洗方法對(duì)冶金級(jí)硅料的除雜效果;也可進(jìn)一步降低純度較高而無法以普通酸洗進(jìn)一步提純的硅料中的金屬雜質(zhì)含量。
聲明:
“提高硅料酸洗除雜效果的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)