本發(fā)明涉及
粉末冶金制備技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種鉬鈮合金靶材及其制備方法。本發(fā)明提供的制備方法包括以下步驟:將鉬粉和鈮粉混合后壓制,得到生坯;所述鉬粉的平均顆粒尺寸為2~5μm,鈮粉的平均顆粒尺寸≤2μm;將所述生坯進(jìn)行真空燒結(jié)處理,得到鉬鈮燒結(jié)體;將所述鉬鈮燒結(jié)體依次進(jìn)行塑性變形和真空熱處理,得到鉬鈮合金靶材。本發(fā)明提供的方法能夠制備得到延展性好、致密度高的鉬鈮合金靶材,實(shí)施例結(jié)果表明,本發(fā)明制備得到的鉬鈮合金靶材在長度方向上可延伸3~5倍沒有裂紋出現(xiàn),能夠從500mm延伸至2800mm,致密度可達(dá)99%。且本發(fā)明提供的方法無需進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)處理,大幅度的降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“鉬鈮合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)