本發(fā)明屬于表面膜層強(qiáng)化技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種軸承鋼表面Ta基薄膜的制備方法,首先將軸承鋼表面的預(yù)處理,將軸承鋼表面打磨、拋光后置于有機(jī)溶劑中超聲清洗并吹干;然后將工件在真空狀態(tài)下進(jìn)行表面濺射清洗,并在工件表面進(jìn)行非金屬離子注入;再將Ta表面進(jìn)行濺射清洗,并將上述工序得到的工件表面沉積Ta基薄膜;最后將Ta基薄膜進(jìn)行非金屬離子注入。采用本發(fā)明方法得到的軸承鋼的硬度高、耐磨性好,經(jīng)過測試,軸承鋼的硬度至少提高了80%,磨損率下降了65%左右,有效延長了軸承鋼的使用壽命。而且所制備的薄膜與基體間沒有明顯的界面,能夠?qū)崿F(xiàn)冶金結(jié)合,提高了結(jié)合力,同時也提高了工件的硬度。
聲明:
“軸承鋼表面Ta薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)