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用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置

630   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 14:51:24
本實用新型公開了一種用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置，屬于羰化冶金生產(chǎn)領域，解決了加熱溫度的不均勻?qū)е碌逆噷雍穸鹊牟痪鶆虻膯栴}。本實用新型包括串聯(lián)在導熱油管道上的氣瓶加熱室、第一導熱油泵和導熱油加熱器，氣瓶加熱室內(nèi)安裝有至少一個待沉積氣瓶。本實用新型利用導熱油不斷循環(huán)對氣瓶加熱室內(nèi)的多個氣瓶同時進行加熱，可實現(xiàn)氣瓶的MOCVD均勻沉積產(chǎn)品的批量生產(chǎn)，生產(chǎn)效率高；本實用新型通過油浴對氣瓶進行均勻加熱，使氣瓶中所形成的鍍鎳層均勻、致密、光滑，能夠充分滿足氣瓶內(nèi)部的潔凈度要求，且其中所形成的鍍鎳層雜質(zhì)含量低，可滿足特種氣體的使用需求。
聲明：
“用于氣瓶MOCVD沉積鎳的油浴裝置” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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