本實用新型涉及一種靶材,具體涉及一種鑲嵌式濺射靶材,包括基板,基板與冷卻背板相連,圓柱狀嵌體嵌入到基板和冷卻背板的內(nèi)部,圓柱狀嵌體設(shè)置在基板上表面橫向中心線的一側(cè),基板和冷卻背板上設(shè)置有臺階孔。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,易于加工,節(jié)約材料,成本低,并可達(dá)到熔煉或
粉末冶金靶材相同的濺射效果。
聲明:
“鑲嵌式濺射靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)