本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體加工的真空燒結(jié)裝置，包括安裝臺(tái)和鉸接安裝在所述安裝臺(tái)上的爐蓋，所述安裝臺(tái)中沿橫向從左至右依次設(shè)置有預(yù)熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部；所述安裝臺(tái)的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)料機(jī)構(gòu)，右側(cè)設(shè)置有出料機(jī)構(gòu)，所述真空燒結(jié)裝置還包括輸送料盤(pán)在所述預(yù)熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部之間移動(dòng)的料盤(pán)轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)，通過(guò)依次設(shè)置的預(yù)熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部，以完成流水線式連續(xù)的預(yù)熱、真空燒結(jié)和冷卻工作，工作周期短，效率高；同時(shí)通過(guò)支撐桿的方式來(lái)承托轉(zhuǎn)運(yùn)料盤(pán)，實(shí)現(xiàn)了物料在各工位間的快速流轉(zhuǎn)和連續(xù)作業(yè)，相較于通過(guò)夾持裝置夾持料盤(pán)進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)的方式，有效的節(jié)約了各工位上方的空間結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，制造成本低。