本實(shí)用新型提供一種氮化硅生產(chǎn)用真空燒結(jié)爐,包括爐體,爐體的一側(cè)密封鉸接有爐門,爐體的一側(cè)設(shè)有第一抽氣管,第一抽氣管的內(nèi)部設(shè)有密封蓋,第一抽氣管上設(shè)有第二抽氣管,第二抽氣管的另一端連有抽氣泵,爐體的頂部一側(cè)設(shè)有氮?dú)夤蓿獨(dú)夤奚线B有氮?dú)廨斔凸?,氮?dú)廨斔凸艿牧硪欢宿D(zhuǎn)動(dòng)連接有第三管道,第三管道的另一端伸入到爐體的內(nèi)部并與氮?dú)獠細(xì)夤苓B通,氮?dú)獠細(xì)夤艿南聜?cè)設(shè)有多個(gè)布?xì)庵Ч?,布?xì)庵Ч苌显O(shè)有若干出氣口,爐體的頂部另一側(cè)設(shè)有出氣管,出氣管上設(shè)有排氣閥,出氣管的另一端伸入到爐體頂部設(shè)有的水箱中,水箱的內(nèi)部設(shè)有第一管道,第一管道的一端與出氣管相連,第一管道的另一端連有第二管道,第二管道的另一端位于水箱的外部。
聲明:
“氮化硅生產(chǎn)用真空燒結(jié)爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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