本發(fā)明公開了一種用于管狀靶材的真空燒結(jié)系統(tǒng),第一壓蓋設(shè)置有第一模具,第二壓蓋設(shè)置有第二模具,第一模具與第二模具配合用于成型,第一保溫殼與第二保溫殼形成的加熱腔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置;第一壓蓋設(shè)置在機架上,第二壓蓋固定連接在加壓裝置的輸出端,加壓裝置固定連接在機架上;加壓裝置包括恒壓裝置和反饋裝置,恒壓裝置用于提供穩(wěn)定壓力,反饋裝置用于提供附加壓力;通過反饋系統(tǒng)以位置為依據(jù),當(dāng)?shù)谝荒>咧饾u靠近第二模具時,反饋裝置提供的附加壓力逐漸變大,使素坯所受壓力在燒結(jié)過程為逐漸變大,較小的初始力避免過早得出較大的晶粒,靶材燒結(jié)過程中各部位的累積受力的差異縮小,從而使各部位的晶粒的大小趨于均勻。
聲明:
“用于管狀靶材的真空燒結(jié)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)