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鉭釕合金靶材及其制備方法

1067   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:01
本發(fā)明涉及一種鉭釕合金靶材的制備方法,包括依次進行的如下步驟:將鉭粉和釕粉混合均勻后進行冷等靜壓壓成塊狀,然后真空燒結(jié);真空燒結(jié)之后再進行真空電子束熔煉獲得高純鉭釕合金錠;將高純鉭釕合金錠進行徑向熱鍛和退火處理;接著進行縱向墩粗和退火處理;然后進行熱軋、冷軋、再結(jié)晶退火處理;最后將高純鉭釕合金錠與背板焊接即得所述的鉭釕合金靶材。本發(fā)明將鉭釕合金錠進一步滴熔成純度更高、氧含量更低的高純鉭釕合金錠,在這過程中,一些低熔點的雜質(zhì)可以通過揮發(fā)而被除去;另外,本發(fā)明通過徑向熱鍛、縱向墩粗、熱軋、冷軋等步驟,使得鉭釕合金錠的晶粒小于100微米。
聲明:
“鉭釕合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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