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基于磁控濺射工藝的電子煙陶瓷發(fā)熱片及其制備方法

1118   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:54
本發(fā)明提供了一種基于磁控濺射工藝的電子煙陶瓷發(fā)熱片及其制備方法,本發(fā)明中利用磁控濺射工藝結(jié)合掩膜板在陶瓷發(fā)熱片表面直接濺射出金屬發(fā)熱薄膜,再通過(guò)真空燒結(jié)工藝將保護(hù)釉層燒結(jié)于發(fā)熱區(qū)域一端表面,并采用化學(xué)鍍工藝,在發(fā)熱薄膜的另一端表面鍍覆金屬電極,最后激光切割得到陶瓷發(fā)熱片;其中,保護(hù)釉層主要由玻璃粉、摻鋁氧化鋅、二硼化鈦顆粒、氧化釔組成,提高了保護(hù)釉的硬度性能,經(jīng)以上材料和工藝制備出的HNB電子煙陶瓷發(fā)熱片,整體工藝簡(jiǎn)便易行,制備的金屬薄膜厚度均勻且圖形尺寸可精細(xì)控制,使得最終的合金電阻均勻且重復(fù)性好,節(jié)省了材料和時(shí)間成本。
聲明:
“基于磁控濺射工藝的電子煙陶瓷發(fā)熱片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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