一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)用坩堝材料的制備方法,它屬于晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題為氮化鋁晶體生長(zhǎng)用坩堝材料的使用壽命短的問題。本發(fā)明稱量一定質(zhì)量的碳化鉭粉、鎢粉、氧化釔粉加入三維振動(dòng)混合器中,混合均勻后得到的混合粉體加入聚氯乙烯坩堝模具,通過冷等靜壓,壓制成型,置于熱壓燒結(jié)爐內(nèi)抽真空后,在20~30MPa的壓力下,進(jìn)行燒結(jié)處理,得到燒結(jié)后的坩堝材料用車床或線切割進(jìn)行加工成型,然后置于真空燒結(jié)爐內(nèi),抽真空后,進(jìn)行燒結(jié)處理,得到所述的一種PVT法氮化鋁晶體生長(zhǎng)用坩堝材料。本發(fā)明生長(zhǎng)用坩堝材料晶體缺陷密度降低,消除高溫下TaC晶粒的異常長(zhǎng)大現(xiàn)象,增加了坩堝使用壽命。
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