本發(fā)明公開(kāi)一種穩(wěn)定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法,涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,包括配料和燒結(jié)工藝步驟。本發(fā)明,設(shè)計(jì)科學(xué)、合理,對(duì)于所述鍍膜靶材,制備方便、節(jié)約,作用安全、可靠,能夠有效解決氧化鋯鍍膜靶材開(kāi)裂問(wèn)題,能解決傳統(tǒng)氧化鋯鍍膜靶材鍍膜過(guò)程中的不穩(wěn)定和折射率不均勻性問(wèn)題,提高氧化鋯薄膜的損傷閾值,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
聲明:
“穩(wěn)定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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