本發(fā)明提供一種籽晶托及其制備方法,涉及晶體制備技術(shù)領(lǐng)域。一種籽晶托,包括相互連接的底座和夾持組件,底座與夾持組件共同限定形成用于夾持籽晶的籽晶夾持槽。籽晶固定后位于底座與夾持組件之間,且籽晶遠(yuǎn)離底座的一側(cè)能與夾持組件共同限定形成空腔。籽晶靠近底座的一側(cè)能從底座露出以供晶體生長。由于籽晶與籽晶托的直接接觸面積較小,籽晶也不與坩堝直接接觸,使得獲得的晶體各部分質(zhì)量更為均一,獲得的晶體的開裂幾率更小。一種籽晶托的制備方法,包括:對表面帶有二氧化硅的底座、夾持組件依次進(jìn)行表面活化處理、親水處理。表面活化處理的功率為60?100w,氧氣流量為60?100ml/min,活化時(shí)間為20?40分鐘。
聲明:
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