本發(fā)明一種鈮電容器介質(zhì)膜強(qiáng)化方法,屬電子元件制作技術(shù)領(lǐng)域,是將現(xiàn)有工藝
電化學(xué)制造后有介質(zhì)膜的陽(yáng)極塊進(jìn)行強(qiáng)化處理,其處理方法是將陽(yáng)極塊在250℃~400℃的烘箱中干烘10~30min,再在0.1%~1%v/v、60℃~90℃的硝酸水溶液的電解槽中,以與陽(yáng)極塊連接的電極為正極對(duì)陽(yáng)極塊實(shí)施電化學(xué)氧化。由于對(duì)第一次制備的介質(zhì)氧化膜采取了“干烘+形成”的工藝處理后,明顯降低了陽(yáng)極塊的漏電流值,介質(zhì)膜的晶粒更小,膜層更致密。
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