一種高熱導(dǎo)率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板及其制備方法,它涉及一種氮化硅陶瓷基板及其制備方法。本發(fā)明的目的是要解決現(xiàn)有方法制備的氮化硅基板的熱導(dǎo)率和力學(xué)性能差,且使用放電等離子燒結(jié),其設(shè)備及制造成本高昂,難以實現(xiàn)批量化生產(chǎn)的問題。一種高熱導(dǎo)率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板由氮化硅粉或氮化硅粉和氮化鋁、
稀土氧化物、鎂粉、增塑劑和有機(jī)溶劑制備而成。方法:一、稱料;二、研磨、混合造粒;三、干壓成型;四、氣壓燒結(jié)。本發(fā)明可獲得一種高熱導(dǎo)率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板。
聲明:
“高熱導(dǎo)率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)