本發(fā)明公開了一種壓接式二極管管芯及制作方法,包括以下步驟:1)制備二極管擴(kuò)散片,2)腐蝕電壓槽,3)電壓槽淀積
多晶硅膜或氮化硅膜,4)電壓槽玻璃鈍化,5)刻蝕去除不需要多晶硅膜或氮化硅保護(hù)的大部分陰極面和陽(yáng)極面區(qū)域的鈍化膜,6)
芯片與鉬片的焊接,7)陰極面蒸鋁,8)陰極面鋁層選擇腐蝕,9)鋁層微合金。進(jìn)一步10)管芯陽(yáng)極面鉬片單面多層金屬化,11)電壓槽涂覆第三保護(hù)層。焊接前對(duì)芯片測(cè)試,剔除掉不合格芯片,避免了鉬片等浪費(fèi),不合格芯片鉬片經(jīng)過處理后再次利用。電壓槽采用三層保護(hù),降低管芯在高溫動(dòng)態(tài)下測(cè)試的漏電流;鉬片設(shè)置鈦鎳銀多層金屬保護(hù)防止氧化,降低了熱阻和電阻,減少功耗。
聲明:
“壓接式二極管管芯制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)