本發(fā)明涉及二極管制作技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種高壓快恢復(fù)整流二極管的制作方法,通過選擇合理阻值的N型單晶硅片,設(shè)計、測試管芯的厚度與結(jié)深,以及采用硼酸與硝酸鋁合理配比的硼擴散源,制備得到高壓快恢復(fù)整流二極管。此方法制備的高壓快恢復(fù)整流二極管,可以很好的兼容反向工作電壓、反向恢復(fù)時間、正向壓降這三個電性參數(shù),滿足反向工作電壓1500V以上、反向恢復(fù)時間100ns以下、正向壓降3V以下的工作要求。
聲明:
“高壓快恢復(fù)整流二極管的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)