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沉積鎢的金剛石粉以及復合銅粉的材料及其制備方法

850   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:21
本發(fā)明涉及一種在金剛石粉體上沉積鎢的核殼材料的制備方法，包括：a，將金剛石粉體放入原子層沉積設備中，抽真空，設置溫度為150～300℃，通入Si2H6；b，通入清掃氣體吹掃過量的Si2H6及副產(chǎn)物；c，通入WF6；d，通入清掃氣體吹掃過量的WF6及副產(chǎn)物；e，通入還原性前驅體；f，通入清掃氣體吹掃過量的還原性前驅體及副產(chǎn)物；g，重復c～f步驟1～1000次，得到表面沉積鎢的金剛石粉體核殼材料。使用本方法，金剛石粉體上的狹窄孔隙均可覆蓋，通過控制沉積周期實現(xiàn)薄膜厚度的精確控制，涂層厚度達到納米級別，同時，原子層間的原子依靠強烈的化學鍵連接，不會產(chǎn)生孔洞和裂隙，形成的涂層不易脫落，增強了金剛石與其他金屬結合界面的潤濕性。
聲明：
“沉積鎢的金剛石粉以及復合銅粉的材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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