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新型石英坩堝的制備方法

819   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:21
本發(fā)明提供一種新型石英坩堝的制備方法,制備毛坯坩堝,所述毛坯坩堝從內(nèi)到外依次包括透明層和氣泡層;在所述透明層遠(yuǎn)離所述氣泡層一側(cè)涂敷一層內(nèi)涂層;在所述氣泡層遠(yuǎn)離所述透明層一側(cè)涂敷一層外涂層。本發(fā)明設(shè)計的新型石英坩堝的制備方法,可防止石英坩堝上端開口處的變形,提高石英坩堝的強度,提高石英坩堝的使用壽命;同時利用該石英坩堝拉制出的單晶硅棒的尾部壽命可達(dá)到均有所提高,單晶硅棒的成晶率好,且轉(zhuǎn)化效率高,使用于P型和N型單晶硅棒的拉制,適普性高。
聲明:
“新型石英坩堝的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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