本發(fā)明為高集成度和實(shí)用性的干式真空泵抽氣工藝模擬測(cè)試方法和測(cè)試系統(tǒng)，通過組建的模擬真空室，集成了氣、液、電、磁、熱、粉塵、腐蝕性等多種干式真空泵應(yīng)用環(huán)境中常見的元素，使用多種傳感器對(duì)同時(shí)具有溫度、濕度、氣體成分、實(shí)時(shí)圖像、壓力、流量和噪聲等信號(hào)進(jìn)行反饋，并通過多個(gè)控制系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控，對(duì)干式真空泵抽氣工藝適應(yīng)情況進(jìn)行檢驗(yàn)和完善。本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)采用嚴(yán)格的污染物收集和接駁處理，并具有危險(xiǎn)示警和自動(dòng)保護(hù)功能系統(tǒng)，具有安全性、智能性、綠色環(huán)保的特點(diǎn)和良好的可重復(fù)性，可以模擬包括輸送、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、光刻、化工、制藥等在內(nèi)的清潔、輕度污染、中度污染和重度污染真空環(huán)境的真空泵抽氣工藝環(huán)境。