本發(fā)明公開(kāi)了一種材料放氣率測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空計(jì)、第二真空計(jì)、第三真空計(jì)、機(jī)械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空閥門(mén)、第二真空閥門(mén)、第三真空閥門(mén)、第四真空閥門(mén)、第五真空閥門(mén)、第六真空閥門(mén),第七真空閥門(mén)、第八真空閥門(mén)、第九真空閥門(mén)、第十真空閥門(mén)、第十一真空閥門(mén)、一個(gè)氣體流量控制器、一個(gè)減壓閥門(mén)、離子泵、一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣瓶和一個(gè)恒溫箱,一方面減小了兩次分別測(cè)量過(guò)程中由于暴露大氣對(duì)裝置本底放氣影響;另一方面可以實(shí)現(xiàn)樣品和本底同時(shí)測(cè)量,將原有的測(cè)量過(guò)程縮短了一半時(shí)間,提高了測(cè)量效率。
聲明:
“材料放氣率測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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