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切削懸浮液回收的方法

1124   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:25
本發(fā)明公開了一種切削廢懸浮液回收的方法,其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進行多級處理,包括如下步驟:固液分離、懸浮液的初級過濾、懸浮液的精濾、懸浮液的濃縮干燥。本發(fā)明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基懸浮液達到與全新原料相同或相近的性能指標,并滿足硅晶切片工序的使用要求,可完全替代新料的回收方法,通過該方法可以實現(xiàn)同一批料多次回收循環(huán)再利用的目的,不僅最大限度地提高了原材料的使用效率,降低了硅片的生產(chǎn)成本,而且避免了廢砂漿排放給環(huán)境造成的污染。
聲明：
“切削懸浮液回收的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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