本實用新型公開了一種高純鎳、鈷及其合金錠真空感應熔鑄用裝置,包括坩堝和鑄模,所述坩堝包括頂部開口的坩堝基體以及鍍覆在坩堝基體內(nèi)表面和上表面的坩堝氮化硼保護層,所述坩堝基體位于感應線圈內(nèi)且坩堝基體與感應線圈成一體結構,所述鑄模包括頂部開口的鑄?;w以及鍍覆在鑄模基體內(nèi)表面和上表面的鑄模氮化硼保護層,所述鑄?;w位于定向凝固系統(tǒng)內(nèi)。本實用新型在真空感應熔煉鎳、鈷及其合金的過程中不會與金屬熔液發(fā)生互熔粘接現(xiàn)象,可以長時間忍耐電磁感應引起的熔液沖刷,延長了坩堝和鑄模的使用壽命,降低了制備成本;也不會對金屬熔液造成污染,保證了產(chǎn)品化學質(zhì)量,適于制備質(zhì)量要求嚴格的集成電路用高純鎳、鈷及其合金產(chǎn)品。
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“高純鎳、鈷及其合金錠真空感應熔鑄用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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