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空心玻璃微珠導(dǎo)電材料的制備方法

794   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 02:40:12
本發(fā)明公開一種空心玻璃微珠導(dǎo)電材料的制備方法,采用磁控濺射真空鍍膜設(shè)備,以經(jīng)過(guò)預(yù)處理的空心玻璃微珠作為基底,以金屬銀作濺射靶材,通過(guò)向真空室內(nèi)充入惰性氣體并同時(shí)在真空室內(nèi)輝光放電,使金屬銀完全濺射到空心玻璃微珠表面生成銀膜。通過(guò)調(diào)節(jié)磁控濺射真空鍍膜設(shè)備中樣品架的擺動(dòng)頻率和超聲波振動(dòng)功率,讓空心玻璃微珠能充分暴露其表面,使所鍍的金屬銀膜均勻性好且附著力強(qiáng);通過(guò)改變磁控濺射真空鍍膜設(shè)備真空室內(nèi)的工作氣壓、濺射功率、溫度、惰性氣體的流量和濺射時(shí)間等工藝,可在不同粒徑的空心玻璃微珠表面沉積不同厚度的金屬銀膜;該工藝操作簡(jiǎn)單,成本低廉,無(wú)廢水廢氣污染,所制備的薄膜均勻,連續(xù)。
聲明:
“空心玻璃微珠導(dǎo)電材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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