本發(fā)明公開了一種去除超高純正硅酸乙酯鋼瓶中固體顆粒的裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明采用雙回路過濾,可同時處理兩個鋼瓶,提高了鋼瓶的處理效率,以反復過濾取代大量高純水清洗,不產(chǎn)生廢液,也無需再對鋼瓶進行除水處理,減少了鋼瓶的處理時間且用量少,裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,操作簡單,可以嚴格控制金屬雜質(zhì)含量在可接受范圍之內(nèi),同時還可進一步設(shè)置有尾氣吸附柱,解決了尾氣排放環(huán)境污染的問題。
聲明:
“去除超高純正硅酸乙酯鋼瓶中固體顆粒的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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