本實用新型公開了一種用于化學機械研磨的固定環(huán),適于固定一晶片,所述固定環(huán)包括:一環(huán)形本體,其內(nèi)部開設有一環(huán)形通道;至少一個第一孔,分布在環(huán)形本體的外壁上,且與環(huán)形通道連通;多個第二孔,均勻分布在環(huán)形本體的內(nèi)壁上,且與環(huán)形通道連通,當化學機械研磨工藝被中斷時,通過由固定環(huán)內(nèi)壁孔中噴射出的保護液清洗金屬表面的研磨液,可防止金屬被腐蝕,減少在后續(xù)工藝中金屬表面產(chǎn)生擦痕,并且延長機器檢修時間。
聲明:
“用于化學機械研磨的固定環(huán)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)