国产在线一区二区不卡|在线观看中文字幕一区|亚洲中文无码h在线观看|欧美 亚洲 图色 另类|免费人成视频x8x8入口|国产福利观看天堂素人约啪|人妻无码专区一专区二专区三|国产婷婷成人久久AV免费高清

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 失效分析技術

> 半導體失效檢測結構及其檢測方法

半導體失效檢測結構及其檢測方法

722   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 08:59:31
本申請?zhí)峁┮环N半導體失效檢測結構及其檢測方法，應用于半導體器件失效檢測過程，半導體失效檢測方法包括：在待檢測晶圓預設范圍內設置參考層；獲取設置參考層對應待檢測晶圓的晶圓圖像；將晶圓圖像與檢測標準圖像進行對比，根據參考層得到待檢測晶圓中失效的位置信息及分析結果。本說明書實施例設置類似金屬材料的參考層，該參考層為多個最小單元規(guī)則排布的參考塊，尤其使參考塊構成的參考層呈米型狀或T型狀排布，優(yōu)化測試結構周邊和上下層dummy結構的設計，在不影響各種不同功能的測試結構的基礎上，不僅有助于形成更加清晰高對比度的測試結構圖形影像，而且大大提升失效分析定位的準確性和物性失效分析的成功率和效率。
聲明：
“半導體失效檢測結構及其檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇礦山技術 徐州礦山技術 江蘇選礦技術 江蘇通用技術 徐州通用技術 北京礦山技術 北京采礦技術 北京通用技術 福建礦山技術 福建通用技術 江蘇冶金技術 江蘇火法冶金技術 北京冶金技術 北京火法冶金技術 北京濕法冶金技術 福建冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環(huán)境保護技術 南京環(huán)境保護技術 蘇州環(huán)境保護技術 南通環(huán)境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環(huán)境保護技術 北京廢水處理技術 第十七屆東亞資源再生技術國際會議 中冶有色技術平臺 有色金屬技術網 中冶有色技術網
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關注官方微信
中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記