1.本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

2.現(xiàn)有的半導(dǎo)體薄片干燥主要是靜態(tài)干燥，通過(guò)ipa慢提拉原理對(duì)晶圓干燥，由于減薄過(guò)的晶圓片厚度70-300um，翹曲非常厲害，且易碎。這種情況下，不適合通過(guò)機(jī)械手把晶圓片全部頂出花籃，也就不能實(shí)現(xiàn)晶圓片與花籃完全分離。所以，晶圓片與花籃接觸部分殘留的水跡不能通過(guò)ipa完全干燥，只能依靠熱氮來(lái)干燥。由于晶圓片和花籃接觸的地方?jīng)]有縫隙，水分干燥比較困難，所需的熱氮溫度高，干燥時(shí)間長(zhǎng)，干燥效率不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

3.本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，以解決花籃和半導(dǎo)體薄片接觸部分水分不易干燥問(wèn)題，提高半導(dǎo)體薄片的干燥效率。

4.本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

5.一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，包括水槽、置放花籃的搖擺框、機(jī)架以及安裝于機(jī)架的伺服電機(jī)、絲杠機(jī)構(gòu)、主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊，所述花籃的半導(dǎo)體薄片插槽厚度大于半導(dǎo)體薄片的厚度；所述機(jī)架安裝于水槽一側(cè)，所述伺服電機(jī)通過(guò)皮帶輪、皮帶與絲杠機(jī)構(gòu)的絲桿驅(qū)動(dòng)連接；

6.所述主動(dòng)滑塊與絲桿螺紋配合，且與機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，所述從動(dòng)滑塊與所述機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，所述從動(dòng)滑塊位于主動(dòng)滑塊下方，所述機(jī)架設(shè)有與主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌；所述從動(dòng)滑塊還設(shè)有牽引機(jī)構(gòu)和鎖緊機(jī)構(gòu)；所述主動(dòng)滑塊通過(guò)搖臂機(jī)構(gòu)與所述搖擺框相連，所述從動(dòng)滑塊通過(guò)提升臂機(jī)構(gòu)與搖擺框相連；

7.采用上述方案，所述牽引機(jī)構(gòu)通過(guò)鎖緊機(jī)構(gòu)與主動(dòng)滑塊鎖緊，主動(dòng)滑塊與從動(dòng)滑塊運(yùn)動(dòng)同步，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠機(jī)構(gòu)，使主動(dòng)滑塊沿機(jī)架豎直滑動(dòng)，帶動(dòng)從動(dòng)滑塊、搖擺框上行或下行，繼而使搖擺框內(nèi)、載有半導(dǎo)體薄片的花籃離開(kāi)或進(jìn)入水箱內(nèi)；

8.或者，搖擺框位于水箱內(nèi)時(shí)，所述牽引機(jī)構(gòu)通過(guò)鎖緊機(jī)構(gòu)與主動(dòng)滑塊分離，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠機(jī)構(gòu)，所述主動(dòng)滑塊帶動(dòng)搖擺框搖擺，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便于薄片的充分干燥。

9.進(jìn)一步的，所述搖臂機(jī)構(gòu)包括連桿一、連接塊、一對(duì)平行而置的z型桿、固定桿一；所述固定桿一固接于搖擺框后部，一對(duì)z型桿的一端共同鉸接于固定桿，另一端共同鉸接于連接塊，所述連接桿一的兩端分別連接主動(dòng)滑塊、連接塊。

10.所述提升臂機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連桿二、提升框架；一對(duì)連桿二的兩端分別連接從動(dòng)滑塊、提升框架，所述搖擺框的中部設(shè)有固定桿二，所述提升框架兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有支撐塊，兩個(gè)支撐塊分別與固定桿二的兩端鉸接。

11.采用上述方案，提升工況時(shí)，使從動(dòng)滑塊與主動(dòng)滑塊相連，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)滑塊沿絲桿上下滑動(dòng)，從動(dòng)滑塊同步運(yùn)動(dòng)，繼而通過(guò)提升框架抬升整個(gè)搖擺框進(jìn)入水箱內(nèi)或離

開(kāi)水箱；使主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊同步運(yùn)動(dòng)，搖擺框置于水箱內(nèi)時(shí)，開(kāi)啟搖擺工況，即：通過(guò)牽引機(jī)構(gòu)使從動(dòng)滑塊與主動(dòng)滑塊分離，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)滑塊沿絲桿上下滑動(dòng)，繼而通過(guò)z型桿拉動(dòng)搖擺框，使搖擺框相對(duì)于提升框架發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，最終使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便干燥。

12.進(jìn)一步的，所述牽引機(jī)構(gòu)包括牽引鉤、固定桿三、轉(zhuǎn)軸，所述固定桿三固接于主動(dòng)滑塊；所述牽引鉤的頭部為與固定桿三配合的彎鉤狀，其尾部固接轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸通過(guò)軸承與所述從動(dòng)滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

13.所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括氣缸、鎖緊端塊、復(fù)位彈簧、推拉桿、推拉塊、連桿三；所述推拉桿的一端與鎖緊端塊固接，另一端穿過(guò)從動(dòng)滑塊后連接推拉塊，所述推拉塊與連桿三一端鉸接，連桿三的另一端與轉(zhuǎn)軸固接；所述復(fù)位彈簧位于鎖緊端塊與從動(dòng)滑塊內(nèi)壁之間。

14.采用上述方案，所述氣缸的輸出軸伸出頂壓鎖緊端塊，克服彈簧力，繼而帶動(dòng)推拉桿、推拉塊、連桿三位移，轉(zhuǎn)軸發(fā)生旋轉(zhuǎn)，使?fàn)恳^發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)而與固定桿三分離，即從動(dòng)滑塊與主動(dòng)滑塊分離；所述氣缸的輸出軸復(fù)位，復(fù)位彈簧復(fù)位，推拉桿復(fù)位，帶動(dòng)連桿三復(fù)位，使?fàn)恳^勾住固定桿三（此時(shí)，主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊位置處于牽引鉤能勾住固定桿三的狀態(tài)）。所述氣缸輸出軸的端部設(shè)有凹槽，所述鎖緊端塊設(shè)有與凹槽互鎖的凸塊，以便從動(dòng)滑塊下移時(shí)，凸塊正好插入氣缸輸出軸端部的凹槽內(nèi)，以便氣缸輸出軸頂壓鎖緊端塊。

15.進(jìn)一步的，所述從動(dòng)滑塊兩側(cè)分別延伸有導(dǎo)向柱，所述機(jī)架還設(shè)有相對(duì)布置的兩立板；兩立板分別設(shè)有與導(dǎo)向柱配合的導(dǎo)向限位板。

16.采用上述方案，使導(dǎo)向柱位于從動(dòng)滑塊與導(dǎo)向限位板之間，導(dǎo)向限位板可對(duì)導(dǎo)向柱限位導(dǎo)向，以便從動(dòng)滑塊在上、下行過(guò)程中運(yùn)行穩(wěn)定。

17.進(jìn)一步的，所述機(jī)架上設(shè)有主動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)，所述機(jī)架上還設(shè)有從動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)。

18.本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，生產(chǎn)制造容易，不僅可以使花籃提升或下降，還可以通過(guò)搖擺框搖擺，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便于薄片的充分干燥，解決花籃和晶圓片接觸位置水分不易干燥的問(wèn)題，降低了干燥溫度，節(jié)省了氮?dú)饬髁浚岣吡税雽?dǎo)體薄片的干燥效率。

附圖說(shuō)明

19.圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖一；

20.圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖二；

21.圖3為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖三；

22.圖4為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖四（去掉一塊立板）；

23.圖5為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖四（去掉一塊立板、一塊導(dǎo)向限位板以及部分從動(dòng)滑塊）；

24.圖5-1為圖5中a部放大圖；

25.圖6-1至6-6為實(shí)施例中本實(shí)用新型的工作流程圖（剖面圖）；

26.圖7為實(shí)施例中半導(dǎo)體薄片與插槽形成間隙的示意圖；

27.圖中：水槽1、花籃2、搖擺框3、機(jī)架4、伺服電機(jī)5、絲杠機(jī)構(gòu)6、主動(dòng)滑塊7、從動(dòng)滑塊8、半導(dǎo)體薄片插槽9、半導(dǎo)體薄片10、連桿一11、連接塊12、z型桿13、固定桿一14、連桿二15、

提升框架16、固定桿二17、支撐塊18、牽引鉤19、固定桿三20、轉(zhuǎn)軸21、氣缸22、鎖緊端塊23、復(fù)位彈簧24、推拉桿25、推拉塊26、連桿三27、導(dǎo)向柱28、立板29、導(dǎo)向限位板30、限位開(kāi)關(guān)31。

具體實(shí)施方式

28.如圖1-5所示，一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，包括水槽1、置放花籃2的搖擺框3、機(jī)架4以及安裝于機(jī)架的伺服電機(jī)5、絲杠機(jī)構(gòu)6、主動(dòng)滑塊7、從動(dòng)滑塊8，所述花籃的半導(dǎo)體薄片插槽9厚度大于半導(dǎo)體薄片10的厚度；所述機(jī)架安裝于水槽一側(cè)，所述伺服電機(jī)通過(guò)皮帶輪、皮帶與絲杠機(jī)構(gòu)的絲桿驅(qū)動(dòng)連接；

29.所述主動(dòng)滑塊與絲桿螺紋配合，且與機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，所述從動(dòng)滑塊與所述機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，所述從動(dòng)滑塊位于主動(dòng)滑塊下方，所述機(jī)架設(shè)有與主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌；所述從動(dòng)滑塊還設(shè)有牽引機(jī)構(gòu)和鎖緊機(jī)構(gòu)；所述主動(dòng)滑塊通過(guò)搖臂機(jī)構(gòu)與所述搖擺框相連，所述從動(dòng)滑塊通過(guò)提升臂機(jī)構(gòu)與搖擺框相連。

30.具體的，所述搖臂機(jī)構(gòu)包括連桿一11、連接塊12、一對(duì)平行而置的z型桿13、固定桿一14；所述固定桿一固接于搖擺框后部，一對(duì)z型桿的一端共同鉸接于固定桿，另一端共同鉸接于連接塊，所述連接桿一的兩端分別連接主動(dòng)滑塊、連接塊。

31.所述提升臂機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連桿二15、提升框架16；一對(duì)連桿二的兩端分別連接從動(dòng)滑塊、提升框架，所述搖擺框的中部設(shè)有固定桿二17，所述提升框架兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有支撐塊18，兩個(gè)支撐塊分別與固定桿二的兩端鉸接。

32.具體的，所述牽引機(jī)構(gòu)包括牽引鉤19、固定桿三20、轉(zhuǎn)軸21，所述固定桿三固接于主動(dòng)滑塊；所述牽引鉤的頭部為與固定桿三配合的彎鉤狀，其尾部固接轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸通過(guò)軸承與所述從動(dòng)滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

33.如圖5-1所示，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括氣缸22、鎖緊端塊23、復(fù)位彈簧24、推拉桿25、推拉塊26、連桿三27；所述推拉桿的一端與鎖緊端塊固接，另一端穿過(guò)從動(dòng)滑塊后連接推拉塊，所述推拉塊與連桿三一端鉸接，連桿三的另一端與轉(zhuǎn)軸固接；所述復(fù)位彈簧位于鎖緊端塊與從動(dòng)滑塊內(nèi)壁之間。

34.具體的，所述從動(dòng)滑塊兩側(cè)分別延伸有導(dǎo)向柱28，所述機(jī)架還設(shè)有相對(duì)布置的兩立板29；兩立板分別設(shè)有與導(dǎo)向柱配合的導(dǎo)向限位板30。所述機(jī)架上設(shè)有主動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)31，所述機(jī)架上還設(shè)有從動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)31。

35.本實(shí)施例中，如圖6-1至6-6所示，開(kāi)始工作時(shí)，將載有半導(dǎo)體薄片的花籃置于搖擺框內(nèi)，從動(dòng)滑塊的牽引鉤鎖住主動(dòng)滑塊的固定桿三；接著主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊同步向下運(yùn)動(dòng)，來(lái)到水箱內(nèi)合適位置，該過(guò)程中，牽引鉤上鎖；然后先使?fàn)恳^開(kāi)鎖，主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊分離，再使主動(dòng)滑塊向上運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)搖擺框擺動(dòng)，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便于薄片的充分干燥；再接著使主動(dòng)滑塊向下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)搖擺框換向擺動(dòng)，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，以便于薄片的充分干燥；完成干燥后，使主動(dòng)滑塊向上運(yùn)動(dòng)，使?fàn)恳^與固定桿三位置對(duì)應(yīng)，牽引鉤勾住固定桿三，上鎖；最后，驅(qū)動(dòng)主動(dòng)滑塊上行，帶動(dòng)從動(dòng)滑塊離開(kāi)水箱。此過(guò)程中，各個(gè)駐停點(diǎn)都可設(shè)置限位開(kāi)關(guān)。

36.如圖7所示，本實(shí)用新型裝置為了實(shí)現(xiàn)一個(gè)左右搖擺的動(dòng)作，當(dāng)向上搖擺時(shí)，硅片在花籃內(nèi)也跟著傾斜，花籃內(nèi)放晶片的插槽空間厚度4.76mm,晶片厚度是 700um，直徑

150mm晶片在對(duì)應(yīng)的插槽內(nèi)有一定的間隙，當(dāng)晶片向一側(cè)傾斜時(shí)，在另一側(cè)會(huì)形成間隙，反向也會(huì)形成間隙，在形成間隙的時(shí)候，熱氮?dú)饪梢院苋菀状稻砻娴乃帧Ｈ绻麤](méi)有搖擺，晶片會(huì)一直貼著插槽，里面的水分很難干燥，而且還容易形成水跡。

37.鎖緊機(jī)構(gòu)中，所述氣缸的輸出軸伸出頂壓鎖緊端塊，克服彈簧力，繼而帶動(dòng)推拉桿、推拉塊、連桿三位移，轉(zhuǎn)軸發(fā)生旋轉(zhuǎn)，使?fàn)恳^發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)而與固定桿三分離，即從動(dòng)滑塊與主動(dòng)滑塊分離；所述氣缸的輸出軸復(fù)位，復(fù)位彈簧復(fù)位，推拉桿復(fù)位，帶動(dòng)連桿三復(fù)位，使?fàn)恳^勾住固定桿三（此時(shí)，主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊位置處于牽引鉤能勾住固定桿三的狀態(tài)）。所述氣缸輸出軸的端部設(shè)有凹槽，所述鎖緊端塊設(shè)有與凹槽互鎖的凸塊，以便從動(dòng)滑塊下移時(shí)，凸塊正好插入氣缸輸出軸端部的凹槽內(nèi)，以便氣缸輸出軸頂壓鎖緊端塊。技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，包括水槽、置放花籃的搖擺框、機(jī)架以及安裝于機(jī)架的伺服電機(jī)、絲杠機(jī)構(gòu)、主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊，所述花籃的半導(dǎo)體薄片插槽厚度大于半導(dǎo)體薄片的厚度；所述機(jī)架安裝于水槽一側(cè)，所述伺服電機(jī)與絲杠機(jī)構(gòu)的絲桿驅(qū)動(dòng)連接，所述主動(dòng)滑塊與絲桿螺紋配合，且與機(jī)架豎直滑動(dòng)配合；所述從動(dòng)滑塊與所述機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，所述從動(dòng)滑塊還設(shè)有牽引機(jī)構(gòu)和鎖緊機(jī)構(gòu)；所述主動(dòng)滑塊通過(guò)搖臂機(jī)構(gòu)與所述搖擺框相連，所述從動(dòng)滑塊通過(guò)提升臂機(jī)構(gòu)與搖擺框相連；所述伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠機(jī)構(gòu)，所述牽引機(jī)構(gòu)通過(guò)鎖緊機(jī)構(gòu)與主動(dòng)滑塊鎖緊或分離，使主動(dòng)滑塊帶動(dòng)從動(dòng)滑塊、搖擺框上行或下行，或者，所述主動(dòng)滑塊帶動(dòng)搖擺框搖擺，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述搖臂機(jī)構(gòu)包括連桿一、連接塊、一對(duì)平行而置的z型桿、固定桿一；所述固定桿一固接于搖擺框后部，一對(duì)z型桿的一端共同鉸接于固定桿，另一端共同鉸接于連接塊，所述連桿一的兩端分別連接主動(dòng)滑塊、連接塊。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述提升臂機(jī)構(gòu)包括一對(duì)連桿二、提升框架；一對(duì)連桿二的兩端分別連接從動(dòng)滑塊、提升框架，所述搖擺框的中部設(shè)有固定桿二，所述提升框架兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有支撐塊，兩個(gè)支撐塊分別與固定桿二的兩端鉸接。4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述牽引機(jī)構(gòu)包括牽引鉤、固定桿三、轉(zhuǎn)軸，所述固定桿三固接于主動(dòng)滑塊；所述牽引鉤的頭部為與固定桿三配合的彎鉤狀，其尾部固接轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸通過(guò)軸承與所述從動(dòng)滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括氣缸、鎖緊端塊、復(fù)位彈簧、推拉桿、推拉塊、連桿三；所述推拉桿的一端與鎖緊端塊固接，另一端穿過(guò)從動(dòng)滑塊后連接推拉塊，所述推拉塊與連桿三一端鉸接，連桿三的另一端與轉(zhuǎn)軸固接；所述復(fù)位彈簧位于鎖緊端塊與從動(dòng)滑塊內(nèi)壁之間；所述氣缸的輸出軸伸出頂壓鎖緊端塊，克服彈簧力，繼而帶動(dòng)推拉桿、推拉塊、連桿三，轉(zhuǎn)軸發(fā)生旋轉(zhuǎn)，使?fàn)恳^發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)而與固定桿三分離；所述氣缸的輸出軸復(fù)位，復(fù)位彈簧使推拉桿復(fù)位，帶動(dòng)連桿三復(fù)位，使?fàn)恳^勾住固定桿三。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述氣缸輸出軸的端部設(shè)有凹槽，所述鎖緊端塊設(shè)有與凹槽互鎖的凸塊。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述機(jī)架設(shè)有與主動(dòng)滑塊、從動(dòng)滑塊滑動(dòng)配合的導(dǎo)軌。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述從動(dòng)滑塊兩側(cè)分別延伸有導(dǎo)向柱，所述機(jī)架還設(shè)有相對(duì)布置的兩立板；兩立板分別設(shè)有與導(dǎo)向柱配合的導(dǎo)向限位板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述機(jī)架上設(shè)有主

動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)，所述機(jī)架上還設(shè)有從動(dòng)滑塊的上行、下行限位開(kāi)關(guān)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，其特征是，所述伺服電機(jī)通過(guò)皮帶輪、皮帶驅(qū)動(dòng)連接絲桿。

技術(shù)總結(jié)

一種半導(dǎo)體薄片干燥搖擺裝置，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，花籃的半導(dǎo)體薄片插槽厚度大于半導(dǎo)體薄片的厚度，伺服電機(jī)與絲杠機(jī)構(gòu)的絲桿驅(qū)動(dòng)連接，主動(dòng)滑塊與絲桿螺紋配合，且與機(jī)架豎直滑動(dòng)配合；從動(dòng)滑塊與機(jī)架豎直滑動(dòng)配合，從動(dòng)滑塊還設(shè)有牽引機(jī)構(gòu)和鎖緊機(jī)構(gòu)；主動(dòng)滑塊通過(guò)搖臂機(jī)構(gòu)與搖擺框相連，從動(dòng)滑塊通過(guò)提升臂機(jī)構(gòu)與搖擺框相連；伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠機(jī)構(gòu)，牽引機(jī)構(gòu)通過(guò)鎖緊機(jī)構(gòu)與主動(dòng)滑塊鎖緊或分離，使主動(dòng)滑塊帶動(dòng)從動(dòng)滑塊、搖擺框上行或下行，或者，主動(dòng)滑塊帶動(dòng)搖擺框搖擺，使半導(dǎo)體薄片傾斜并與所在插槽槽壁之間形成間隙，解決花籃和晶圓片接觸位置水分不易干燥的問(wèn)題。片接觸位置水分不易干燥的問(wèn)題。片接觸位置水分不易干燥的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：楊志勇 景豪杰 劉芳亮

受保護(hù)的技術(shù)使用者：揚(yáng)州思普爾科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2021.07.13

技術(shù)公布日：2022/4/13