權(quán)利要求書(shū)： 1.一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述裝置主要包括：冷卻裝置(1)、干燥箱(2)、手套箱(3)；

其中，所述冷卻裝置(1)、干燥箱(2)、手套箱(3)通過(guò)空氣管路連通；空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入到冷卻裝置(1)，冷卻后的空氣通過(guò)管路輸送到干燥箱(2)，干燥后的冷空氣通過(guò)管路輸送入手套箱(3)內(nèi)；

所述干燥箱(2)內(nèi)含有可更換的干燥劑(22)，手套箱(3)內(nèi)設(shè)有加熱板和可更換的納米鐵粉包。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述冷卻裝置內(nèi)部的空氣管路為螺旋盤(pán)管(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述干燥箱(2)中設(shè)有多根裝有干燥劑(22)的管路(21)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述干燥劑(22)采用氧化鈣、硅膠、氧化鋁凝膠、分子篩或活性炭。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述手套箱(3)的內(nèi)壁設(shè)置有夾層，夾層內(nèi)設(shè)置有冷卻盤(pán)管。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述冷卻盤(pán)管內(nèi)冷卻物質(zhì)為冷凍鹽水或者≤3℃的水。

說(shuō)明書(shū)： 一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及鈣鈦礦太陽(yáng)能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置。背景技術(shù)[0002] 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的光吸收層是鈣鈦礦薄膜，鈣鈦礦薄膜的結(jié)晶質(zhì)量對(duì)太陽(yáng)能電池的光伏性能有著重要影響。在鈣鈦礦薄膜結(jié)晶過(guò)程中，需要在無(wú)水少氧的氛圍內(nèi)退火(100?150℃)，退火后可實(shí)現(xiàn)較好的薄膜結(jié)晶質(zhì)量。手套箱中設(shè)置有加熱板，加熱板通電后發(fā)熱，可對(duì)手套箱加熱達(dá)到退火要求的溫度范圍。退火的處理是在手套箱中的加熱板上進(jìn)行，在干燥且連續(xù)冷卻的空氣氣氛下，旋涂了鈣鈦礦薄膜的導(dǎo)電玻璃或其他基體在加熱板上被退火；由于加熱板持續(xù)放出較大熱量，會(huì)造成手套箱內(nèi)空氣溫度持續(xù)升高，影響手套箱安全，因此需要持續(xù)將手套箱中的高溫氣體排出。[0003] 針對(duì)以上技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，能夠有效去除進(jìn)入手套箱內(nèi)空氣中的水分，同時(shí)還能適當(dāng)?shù)亟档涂諝庵械难鹾浚@著改善退火氛圍，提高鈣鈦礦薄膜結(jié)晶質(zhì)量。實(shí)用新型內(nèi)容

[0004] 本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，提出了一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置。[0005] 本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：[0006] 一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，該裝置主要包括：冷卻裝置、干燥箱、手套箱；空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入到冷卻裝置，冷卻后的空氣通過(guò)管路輸送到干燥箱，干燥后的冷空氣通過(guò)管路輸送入手套箱內(nèi)；其中，所述手套箱內(nèi)設(shè)有加熱板，加熱板通電加熱后，使手套箱的溫度達(dá)到鈣鈦礦薄膜退火所需溫度(100?150℃)，為了使手套箱內(nèi)溫度維持在恒定的范圍內(nèi)，需要持續(xù)將手套箱中的高溫氣體排出，輸入干燥后的冷空氣；手套箱內(nèi)部設(shè)置有納米鐵粉之類(lèi)等不揮發(fā)且極易和氧結(jié)合的物質(zhì)，可有效和進(jìn)入手套箱中的干燥空氣中的氧發(fā)生反應(yīng)，減少手套箱中的氧氣含量，顯著改善鈣鈦礦薄膜退火熱處理的氣體氛圍；納米鐵粉包可根據(jù)和氧結(jié)合的使用情況，進(jìn)行更換。

[0007] 進(jìn)一步的，所述冷卻裝置內(nèi)部設(shè)有螺旋盤(pán)管，空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入到冷卻裝置的螺旋盤(pán)管內(nèi)，通過(guò)螺旋盤(pán)管增加了空氣和冷卻劑的接觸面積，提高冷卻效率，待冷卻裝置內(nèi)部的氣體冷卻到3℃～5℃左右時(shí)，空氣中的水分就容易凝結(jié)成小水珠，待冷卻裝置中的空氣冷卻到3℃～5℃左右時(shí)，冷卻空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入干燥箱中。[0008] 進(jìn)一步的，所述干燥箱中多根裝有干燥劑的管路，空氣通過(guò)管路時(shí)，干燥劑將冷卻空氣中的水分吸收，使空氣變得干燥，干燥后的氣體進(jìn)入到手套箱中。[0009] 進(jìn)一步的，干燥箱中管路中的干燥劑可采用氧化鈣、生石灰干燥劑、氯化鎂、氯化鈣、堿石灰，等已知的吸水物質(zhì)，干燥劑可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行更換。[0010] 進(jìn)一步的，所述手套箱的內(nèi)壁設(shè)置有夾層，夾層內(nèi)設(shè)置有冷卻盤(pán)管，并通過(guò)制冷系統(tǒng)，循環(huán)制冷，讓盤(pán)管內(nèi)的冷卻介質(zhì)始終保持低溫，在手套箱內(nèi)的加熱板持續(xù)加熱中，及時(shí)轉(zhuǎn)移手套箱內(nèi)的熱量，使手套箱內(nèi)溫度保持需要的恒定溫度；[0011] 進(jìn)一步的，冷卻盤(pán)管內(nèi)冷卻物質(zhì)可采用冷凍鹽水或者≤3℃的水。[0012] 本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于：鈣鈦礦薄膜退火的處理是在手套箱中進(jìn)行，手套箱中設(shè)置有加熱板，鈣鈦礦薄膜放在加熱板上，加熱板通電后發(fā)熱，使溫度達(dá)到退火溫度要求的100℃?150℃，由于要將溫度維持在恒定的范圍內(nèi)，需要持續(xù)將手套箱中的高溫氣體排出，輸入冷空氣；輸入的冷空氣經(jīng)過(guò)冷卻裝置和干燥箱的處置后，得到了冷卻無(wú)水的空氣，同時(shí)在手套箱內(nèi)部放置能夠防止納米鐵粉之類(lèi)等不揮發(fā)且極易和氧結(jié)合的物質(zhì)，可有效和冷空氣中的氧發(fā)生反應(yīng)，減少手套箱中的氧氣含量，讓鈣鈦礦薄膜在無(wú)水少氧的氛圍內(nèi)退火，退火后薄膜結(jié)晶質(zhì)量較好。附圖說(shuō)明[0013] 圖1是本實(shí)用新型中鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置設(shè)備連接示意圖。[0014] 圖中，1.冷卻裝置，2.干燥箱，3.手套箱，11.螺旋盤(pán)管，21.管路，22.干燥劑。具體實(shí)施方式[0015] 下面結(jié)合圖1對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行具體說(shuō)明。[0016] 參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型提供的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，該裝置主要包括：冷卻裝置1、干燥箱2、手套箱3；空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入到冷卻裝置1，冷卻后的空氣通過(guò)管路輸送到干燥箱2，干燥后的冷空氣通過(guò)管路輸送入手套箱3內(nèi)；鈣鈦礦薄膜的退火處理實(shí)在手套箱內(nèi)進(jìn)行的，手套箱3內(nèi)設(shè)有加熱板，鈣鈦礦薄膜放在加熱板上進(jìn)行加熱，為了使手套箱內(nèi)溫度維持在恒定的范圍內(nèi)，需要持續(xù)將手套箱中的高溫氣體排出，輸入干燥后的冷空氣；手套箱內(nèi)部設(shè)置有納米鐵粉之類(lèi)等不揮發(fā)且極易和氧結(jié)合的物質(zhì)，可有效和進(jìn)入手套箱中的干燥空氣中的氧發(fā)生反應(yīng)，減少手套箱中的氧氣含量。[0017] 圖1中，冷卻裝置1內(nèi)部設(shè)有螺旋盤(pán)管11，螺旋盤(pán)管11增加了空氣和冷卻劑的接觸面積，冷卻后，空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入干燥箱中；干燥箱中多根裝有干燥劑的管路21，干燥劑22將冷卻空氣中的水分吸收，干燥劑可采用氧化鈣，等已知的吸水材料，干燥后的氣體進(jìn)入到手套箱3中。[0018] 通過(guò)實(shí)踐，手套箱3的內(nèi)壁還設(shè)置了夾層，夾層內(nèi)設(shè)置有冷卻盤(pán)管，并通過(guò)制冷系統(tǒng)，循環(huán)制冷，冷卻盤(pán)管內(nèi)冷卻物質(zhì)可采用冷凍鹽水或者≤3℃的水。[0019] 工作原理：鈣鈦礦薄膜退火的處理是在手套箱中進(jìn)行，手套箱中設(shè)置有加熱板，鈣鈦礦薄膜放置在加熱板上，加熱板通電后發(fā)熱，使手套箱內(nèi)加熱板的溫度達(dá)到退火要求，一定時(shí)間內(nèi)將溫度維持在退火需要的溫度內(nèi)，手套箱內(nèi)的高溫空氣需要冷空氣置換，所需冷空氣進(jìn)過(guò)經(jīng)過(guò)冷卻裝置的冷卻、干燥箱的除水處置后，得到了冷卻無(wú)水的空氣，同時(shí)在手套箱內(nèi)部設(shè)置能夠防止納米鐵粉之類(lèi)等不揮發(fā)且極易和氧結(jié)合的物質(zhì)，可和冷空氣中的氧發(fā)生反應(yīng)，減少手套箱中的氧氣含量，讓鈣鈦礦薄膜在無(wú)水少氧的氛圍內(nèi)完成退火。[0020] 最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：

其依然可以對(duì)前述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。