權利要求書： 1.一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟1：包括用于回收四氟化碳廢氣中六氟乙烷的熱分解提純裝置（100），并通過設置在管路上流量計控制原料流量，通過所述熱分解提純裝置（100）去除可熱分解的微氧，使其轉化為可以吸附、精餾去除的化合物；

步驟2：將步驟1中經過所述熱分解提純裝置（100）后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通過管道輸送至微氧吸附再生裝置（200）；所述微氧吸附再生裝置（200）在通入氫氣活化合格后，所述微氧吸附再生裝置（200）在脫氧劑的作用下能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物質；并將微氧轉換成容易吸附、精餾去除的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴；再經過精密過濾器去除含有六氟乙烷的四氟化碳的固體雜質；

步驟3：將步驟2中所述微氧吸附再生裝置（200）經過精密過濾后，進入分餾裝置（300），所述分餾裝置（300）排出的四氟化碳氣體返回四氟化碳生產線中，以提高四氟化碳回收率；

步驟4：將步驟3中含有少量雜質的六氟乙烷依次經過汽化器（400）汽化后進入緩沖罐（500）；并使用隔膜式壓縮機（600）增壓將所述緩沖罐（500）中的六氟乙烷進入帶壓運行的吸附塔（700）；所述吸附塔（700）的吸附溫度為常溫；

步驟5：將所述吸附塔（700）吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器（800）預冷后依次通過高沸精餾塔（900）和低沸精餾塔（1000）去除雜質；

步驟6：將經過步驟5的六氟乙烷氣體檢測合格后通入低溫產品儲罐（1100），并使用液體泵（1200）將所述低溫產品儲罐（1100）合格六氟乙烷氣體經再次精密過濾后充裝到產品包裝容器（1300）內。

2.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：

所述吸附塔（700）的吸附壓力為0.15～0.80MPa;所述吸附塔（700）中裝填分子篩吸附劑，所述分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、

5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種。

3.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：

所述高沸精餾塔（900）用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中的高沸點雜質；高沸點雜質生產在所述高沸精餾塔（900）的底部，包括氟碳、氟硫、氟碳氫多種重組分雜質。

4.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：

所述低沸精餾塔（1000）用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中低沸點雜質；低沸點雜質生產在所述低沸精餾塔（1000）的頂部，包括氧、氮、氫、一氧化碳、四氟化碳、甲烷多種輕組分雜質。

5.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：

所述微氧吸附再生裝置（200）內具有A型分子篩吸附劑、鋁膠干燥劑和催化劑組合吸附劑；通過通入氫氣升溫脫附再生，脫水、除微氧、除氮氣、二氧化碳和除固體顆粒雜質；并能夠使四氟化碳氣體中的微氧控制在＜0.5ppm。

說明書： 一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法

技術領域[0001] 本發(fā)明涉及六氟乙烷生產領域，更具體的，涉及一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法。

背景技術[0002] 在現(xiàn)今社會，超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)蓬勃發(fā)展，而被廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散、清洗等工藝

的電子氣體是上述工業(yè)不可缺少的原料。電子氣體在半導體制造過程中一直扮演著重要的

角色，尤其是半導體制程目前已被廣泛地應用于各項產業(yè)，電子級六氟乙烷因其無毒無臭、

高穩(wěn)定性被廣泛應用在半導體制造過程中，六氟乙烷作為干腐蝕劑具有邊緣側向侵蝕現(xiàn)象

極微、高蝕刻率及高精確性的優(yōu)點，可以極好地滿足此類線寬較小的制程的要求。

[0003] 電子級六氟乙烷氣體屬于高性能精細專用化學品，是我國微電子行業(yè)急需發(fā)展的重點基礎材料和關鍵材料。目前國內六氟乙烷生產主要以工業(yè)級(六氟乙烷純度低于4N)為

主，應用領域以制冷劑為主；而我國微電子行業(yè)急需的電子級六氟乙烷(六氟乙烷純度≥

5N)，絕大部分長期依賴進口；傳統(tǒng)六氟乙烷制造方法成本高，副產物多，其中的雜質元素氯

會破壞臭氧層；國際上發(fā)達國家及國內生產四氟化碳規(guī)模較大的公司，都將四氟化碳生產

中的六氟乙烷作為工業(yè)廢氣進行直接排空處理；采用從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純

電子級六氟乙烷能夠大量減少廢氣排放，不存在比較危險的六氟乙烷合成生產過程，生產

成本低，能夠有效去除其中含有的不同雜質，使得六氟乙烷純度高，滿足電子氣使用需求。

發(fā)明內容[0004] 為了克服現(xiàn)有技術的缺陷，本發(fā)明的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，解決技術中傳統(tǒng)六氟乙烷制造方法成本高，副產物多，其中的雜

質元素氯會破壞臭氧層；國際上發(fā)達國家及國內生產四氟化碳規(guī)模較大的公司，都將四氟

化碳生產中的六氟乙烷作為工業(yè)廢氣進行直接排空處理的問題。

[0005] 為達此目的，本發(fā)明采用以下技術方案：[0006] 本發(fā)明提供了一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，包括以下步驟：

[0007] 步驟1：包括用于回收四氟化碳廢氣中六氟乙烷的熱分解提純裝置，并通過設置在管路上流量計控制原料流量，通過所述熱分解提純裝置去除可熱分解的微氧，使其轉化為

可以吸附、精餾去除的化合物；

[0008] 步驟2：將步驟1中經過所述熱分解提純裝置后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通過管道輸送至微氧吸附再生裝置；所述微氧吸附再生裝置在通入氫氣活化合格后，所述微

氧吸附再生裝置在脫氧劑的作用下能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物質；并將微

氧轉換成容易吸附、精餾去除的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴；再經過精密過濾器去除

含有六氟乙烷的四氟化碳的固體雜質；

[0009] 步驟3：將步驟2中所述微氧吸附再生裝置經過精密過濾后，進入分餾裝置，所述分餾裝置排出四氟化碳氣體的返回四氟化碳生產線中，以提高了四氟化碳回收率；

[0010] 步驟4：將步驟3中含有少量雜質的六氟乙烷依次經過汽化器汽化后進入緩沖罐；并使用隔膜式壓縮機增壓將所述緩沖罐中的六氟乙烷進入帶壓運行的吸附塔；

[0011] 步驟5：將所述吸附塔吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器預冷后依次通過高沸精餾塔和低沸精餾塔去除雜質；

[0012] 步驟6：將經過步驟5的六氟乙烷氣體檢測合格后通入低溫產品儲罐，并使用液體泵將所述低溫產品儲罐合格六氟乙烷氣體經再次精密過濾后充裝到產品包裝容器內。

[0013] 優(yōu)選地，所述吸附塔的吸附溫度為常溫，吸附壓力為0.15～0.80MPa；[0014] 所述吸附塔中，裝填分子篩吸附劑，所述分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種。

[0015] 優(yōu)選地，所述高沸精餾塔用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中的高沸點雜質；高沸點雜質生產在所述高沸精餾塔的底部，包括氟碳、氟硫、氟碳氫多種重組分雜質。

[0016] 優(yōu)選地，所述低沸精餾塔用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中低沸點雜質；低沸點雜質生產在所述低沸精餾塔的頂部，包括氧、氮、氫、一氧化碳、四氟化碳、甲烷多種輕組分雜

質。

[0017] 優(yōu)選地，所述高沸精餾塔的精餾溫度為?52～?36℃，精餾壓力為0.20～0.35MPa；工作壓力控制為0.20Pa～0.60Pa。

[0018] 優(yōu)選地，所述低沸精餾塔的精餾溫度為?58～?25℃，精餾壓力為0.18～0.32MPa；工作壓力控制為0.15Pa～0.60Pa。

[0019] 優(yōu)選地，所述微氧吸附再生裝置內具有A型分子篩吸附劑、鋁膠干燥劑和催化劑組合吸附劑；通過通入氫氣升溫脫附再生，脫水、除微氧、除氮氣、二氧化碳和除固體顆粒雜

質；并能夠使能夠使四氟化碳氣體中的微氧控制在＜0.5ppm。

[0020] 本發(fā)明的有益效果為：[0021] 本發(fā)明提供一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，具體以四氟化碳生產過程工業(yè)廢氣為原料，具體在經過將四氟化碳精餾塔塔釜排出的

工業(yè)廢氣經過熱分解提純裝置熱分解，再經過微氧吸附再生裝置和精密過濾后進入分餾裝

置分餾，使其中含有的大量四氟化碳返回四氟化碳生產線，提高了四氟化碳回收率；然后再

將含有少量雜質的六氟乙烷氣化，使用隔膜式壓縮機增壓使緩沖罐中的六氟乙烷進入帶壓

運行的吸附塔，將吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器預冷后依次通過高沸精餾塔和低沸

精餾塔去除雜質，檢測合格儲存于低溫產品儲罐內收集，使用液體泵將合格產品經再次精

密過濾后充裝到產品包裝容器內；并達到電子級六氟乙烷的技術要求；生產出的電子級六

氟乙烷不含有會對臭氧層造成破壞的氯元素；可減少溫室氣體排放，可實現(xiàn)工業(yè)廢氣資源

化利用和節(jié)能減排。

附圖說明[0022] 圖1是本發(fā)明具體實施方式提供的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法的管路連接圖；

[0023] 圖2是圖1的A處放大示意圖；[0024] 圖3是圖1的B處放大示意圖；[0025] 圖4是圖1的C處放大示意圖；[0026] 圖5是本發(fā)明具體實施方式提供的微氧吸附再生裝置的示意圖；[0027] 圖6是本發(fā)明具體實施方式提供的微氧吸附再生裝置(第一吸附筒或第二吸附筒)的主視截面示意圖。

[0028] 圖中：[0029] 100、熱分解提純裝置；200、微氧吸附再生裝置；201、四氟化碳進氣管路；202、第一吸附筒；203、第二吸附筒；204、再生氣體管路；205、四氟化碳出氣管路；206、尾氣管路；300、

分餾裝置；400、汽化器；500、緩沖罐；600、隔膜式壓縮機；700、吸附塔；800、預冷器；900、高

沸精餾塔；1000、低沸精餾塔；1100、低溫產品儲罐；1200、液體泵；1300、產品包裝容器。

具體實施方式[0030] 下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本發(fā)明的技術方案。[0031] 本發(fā)明的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，如圖1?6所示，包括以下步驟：

[0032] 步驟1：包括用于回收四氟化碳廢氣中六氟乙烷的熱分解提純裝置100，并通過設置在管路上流量計控制原料流量，通過熱分解提純裝置100去除可熱分解的微氧，使其轉化

為可以吸附、精餾去除的化合物；

[0033] 具體來說，熱分解提純裝置100通過其上設置的電加熱器對微量氧化型物質進行裂解，熱分解提純裝置100加溫至320℃，從而分解四氟化碳氣體中微氧；使其轉化為可以吸

附、精餾去除的化合物。

[0034] 步驟2：將步驟1中經過熱分解提純裝置100后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通過管道輸送至微氧吸附再生裝置200；微氧吸附再生裝置200在通入氫氣活化合格后，微氧

吸附再生裝置200在脫氧劑的作用下能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物質；并將

微氧轉換成容易吸附、精餾去除的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴；再經過精密過濾器去

除含有六氟乙烷的四氟化碳的固體雜質；

[0035] 具體來說，如圖2所示，微氧吸附再生裝置200包括四氟化碳進氣管路201、第一吸附筒202、第二吸附筒203、再生氣體管路204、四氟化碳出氣管路205、尾氣管路206、微氧檢

測儀器；四氟化碳進氣管路201分別與第一吸附筒202、第二吸附筒203的進氣口連接，再生

氣體管路204分別與第一吸附筒202、第二吸附筒203的出氣口連接，第一吸附筒202、第二吸

附筒203還與尾氣管路206連接

[0036] 本發(fā)明點的一個實施例中，還設有電磁閥、PLC、顯示面板(圖中未示出)；微氧檢測儀器通過導線與PLC連接，PLC還與顯示面板和電磁閥連接；微氧檢測儀器用以監(jiān)測分解四

氟化碳中微量氧化性物質的裝置出口的微氧含量；當微氧含量超過設定值，微氧檢測儀器

給PLC發(fā)送信號。

[0037] 第一吸附筒202、第一吸附筒203中設有脫氧劑，脫氧劑用氫氣活化后具備脫除和分解微量氧化性物質的能力；含有微量氧化性物質的四氟化碳從吸附筒側面底部的吸附筒

進氣口進氣，經過脫氧劑脫除分解微氧后，通過與吸附筒出氣口連接的管路自除塵裝置進

氣口進入除塵器，經過除塵后，自除塵裝置出氣口進入六氟乙烷提純分離吸附、精餾等系

統(tǒng)，進一步將微量氧化性物質脫除和分解后產生的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴分離

去除；具體使用本發(fā)明時，首先將脫氧劑安裝到第一吸附筒202和第一吸附筒203中，通入氫

氣活化合格后安裝其他配套設備設施及微氧檢測儀器等；將四氟化碳接入分解四氟化碳中

微量氧化性物質的裝置的第一吸附筒202，脫氧劑能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化

性物質，分解脫除了微氧的四氟化碳氣體經過除塵裝置除塵后進入其他除雜設備；當將微

氧檢測儀器檢測到微氧含量達到設定值時，給PLC發(fā)送信號；PLC控制關閉第一吸附筒202四

氟化碳氣體進出口電磁閥，打開備用的第二吸附筒203進出口電磁閥，將四氟化碳氣體轉入

第二吸附筒203運行除微氧；同時，PLC控制開啟活化再生氣體管路204出口電磁閥，氫氣通

過氫氣進口接入第一吸附筒202，對第一吸附筒202中的脫氧劑活化再生，活化再生尾氣自

設于第一吸附筒202上的活化再生尾氣出口11通過尾氣管路206排入尾氣系統(tǒng)，確保尾氣達

標排放；活化再生1.5小時后，PLC關閉活化再生氣體管路204出口電磁閥；使用一段時間后，

當將微氧檢測儀器再次檢測到微氧含量達到設定值時，微氧檢測儀器給PLC發(fā)送信號；PLC

控制關閉第二吸附筒203四氟化碳氣體進出口電磁閥，打開備用的第一吸附筒202進出口電

磁閥，將四氟化碳氣體又轉入第一吸附筒202運行除微氧；如此循環(huán)使用，保證生產的連續(xù)

穩(wěn)定運行；本發(fā)明能夠將四氟化碳中的微氧分解轉化成氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴

等能夠比較輕易的在六氟乙烷精餾塔中除去的雜質，將不能在一般的提純、分離、精餾系統(tǒng)

中除掉的微量氧化性物質分解成為能夠與目標產物六氟乙烷實現(xiàn)分離的雜質氣體，且能夠

循環(huán)使用，保證生產的連續(xù)穩(wěn)定運行；通過該裝置后微氧含量降低，提高了六氟乙烷的純

度。在自動控制柜輸出通道選項中，可以根據(jù)實際情況設置自動切換時間、微氧濃度、吸附

劑吸附飽和度等數(shù)據(jù)的參數(shù)。當啟用切換時間通道，用時間傳感器測量的時間數(shù)值來計算

吸附時間數(shù)據(jù)時，需要在界面內輸入測量點和當時的微氧值，讓吸附劑在工作一段時間后，

將測得的微氧值輸入到對應的時間段。確保吸附運行與再生自動切換。

[0038] 步驟3：將步驟2中微氧吸附再生裝置200經過精密過濾后，進入分餾裝置300，分餾裝置300排出四氟化碳氣體的返回四氟化碳生產線中，以提高了四氟化碳回收率；

[0039] 具體來說，通過步驟2得到的四氟化碳、六氟乙烷氣體，通過分餾裝置300，使四氟化碳氣體從頂部蒸發(fā)排出，進一步提高六氟乙烷的純度，使其中含有的大量四氟化碳返回

四氟化碳生產線，進而提高了四氟化碳回收率。

[0040] 步驟4：將步驟3中含有少量雜質的六氟乙烷依次經過汽化器400汽化后進入緩沖罐500；并使用隔膜式壓縮機600增壓將緩沖罐500中的六氟乙烷進入帶壓運行的吸附塔

700；

[0041] 具體來說，吸附塔700具有較強的吸附性，能夠將六氟乙烷氣體實現(xiàn)深度脫水、除微氧、除氮、除二氧化碳和除固體顆粒等雜質。

[0042] 步驟5：將吸附塔700吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器800預冷后依次通過高沸精餾塔900和低沸精餾塔1000去除雜質；

[0043] 具體來說，將將吸附塔700吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器800預冷，進入預冷器800，在高壓及低溫狀態(tài)下在預冷器800由氣態(tài)轉化為液態(tài)，之后從高沸精餾塔900的中

部進入高沸精餾塔900的塔釜，在高沸精餾塔900的塔釜內，液態(tài)六氟乙烷和小部分沸點比

六氟乙烷高的高沸物吸熱后氣化，氣化后的六氟乙烷沿塔上升，高沸精餾塔900塔頂冷凝器

冷凝后，高沸點雜質液化流入塔釜，氣態(tài)六氟乙烷和低沸物雜質進入低沸精餾塔1000，而高

沸點雜質在高沸精餾塔900的底部進行排空處理；在低沸精餾塔1000的塔釜內，部分液態(tài)六

氟乙烷和沸點比六氟乙烷低的低沸物吸熱后氣化，氣化后的六氟乙烷和低沸物沿塔上升進

入低沸精餾塔塔頂冷凝器，六氟乙烷液化流入塔釜，低沸點雜質在塔頂冷凝器排空處理。塔

釜內合格的液態(tài)六氟乙烷進入到低溫產品儲罐1100內收集。

[0044] 步驟6：將經過步驟5的六氟乙烷氣體檢測合格后通入低溫產品儲罐1100，并使用液體泵1200將低溫產品儲罐1100合格六氟乙烷氣體經再次精密過濾后充裝到產品包裝容

器1300內。

[0045] 進一步地，吸附塔700的吸附溫度為常溫，吸附壓力為0.15～0.80MPa。[0046] 吸附塔700中，裝填分子篩吸附劑，分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種。

[0047] 具體來說，分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種，通過A型分子篩吸附六氟乙烷中含有的大量水分，使六氟乙烷中水分的

含量降至0.2ppm以下。A型分子篩通過物理吸引力將分子吸附在晶體的表面上，水分子特別

小(2.64埃)，是高度極性分子，很容易被分子篩吸附，即使在濕氣相當?shù)偷那闆r下也是如

此。通過對六氟乙烷粗氣中的水分、酸性物質、有害雜質進行吸附脫除。以提高六氟乙烷提

純效果。

[0048] 進一步地，高沸精餾塔900用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中的高沸點雜質；高沸點雜質生產在高沸精餾塔900的底部，包括氟碳、氟硫、氟碳氫等多種重組分雜質。

[0049] 進一步地，低沸精餾塔1000用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中低沸點雜質；低沸點雜質生產在低沸精餾塔1000的頂部，包括氧、氮、氫、一氧化碳、四氟化碳、甲烷等多種輕組

分雜質。

[0050] 進一步地，高沸精餾塔900的精餾溫度為?52～?36℃，精餾壓力為0.20～0.35MPa；工作壓力控制為0.20Pa～0.60Pa。

[0051] 進一步地，低沸精餾塔1000的精餾溫度為?58～?25℃，精餾壓力為0.18～0.32MPa；工作壓力控制為0.15Pa～0.60Pa。

[0052] 進一步地，微氧吸附再生裝置200內具有A型分子篩吸附劑、鋁膠干燥劑和催化劑組合吸附劑；通過通入氫氣升溫脫附再生，脫水、除微氧、除氮氣、二氧化碳和除固體顆粒雜

質；并能夠使能夠使四氟化碳氣體中的微氧控制在＜0.5ppm。

[0053] 具體來說，經過A型分子篩吸附劑、鋁膠干燥劑實現(xiàn)深度除水，在經過催化劑組合吸附劑進行除微氧、除氮氣、二氧化碳和除固體顆粒雜質；更為具體來說，催化劑組合吸附

劑可以采用鈀催化劑、PU?8型吸附劑；通過鈀催化劑吸附四氟化碳粗氣中微量氧的含量，將

四氟化碳粗氣中微氧含量降至≤0.5ppm以下；通過PU?8型吸附劑吸附四氟化碳粗氣中氮氣

的含量，將四氟化碳粗氣中氮氣含量降至2ppm以下。A型分子篩吸附劑吸附四氟化碳粗氣中

微量的CO2的含量，將四氟化碳粗氣中CO2的含量降至0.1ppm以下；A型分子篩同時也吸附微

量的水分，將四氟化碳粗氣中水分降至0.2ppm以下。經過微氧、除氮氣、二氧化碳和除固體

顆粒雜質后的四氟化碳氣體中的微氧控制在＜0.5ppm。以提高吸附和再生效果。

[0054] 需要補充說明的是，六氟乙烷精餾塔回收提純DCS集散控制系統(tǒng)，高沸精餾塔900和低沸精餾塔1000控制系統(tǒng)具有集散控制模塊，該模塊能實現(xiàn)連續(xù)、離散、順序、邏輯以及

批量的控制作用；實現(xiàn)從單回路、前饋?反饋復合至多變量解耦、非線性、自適應、多參數(shù)預

估以及模糊等復雜的控制作用；能夠實現(xiàn)Smith預估、三階矩陣乘法等各式各樣的計算，得

出精餾參數(shù)最佳，產品純度最好。

[0055] 綜上所述，本發(fā)明的一種從四氟化碳生產工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，在四氟化碳工業(yè)廢氣中，含六氟乙烷約50％，還有水、微氧、SF6等其他10多種雜

質，其中微氧、六氟化硫等雜質氣體沸點與六氟乙烷接近，本發(fā)明能夠要把含量50％的六氟

乙烷混合氣體提純到純度99.9995％以上，達到電子級六氟乙烷的技術要求，本發(fā)明具體以

四氟化碳生產過程工業(yè)廢氣為原料，具體在經過將四氟化碳精餾塔塔釜排出的工業(yè)廢氣經

過熱分解提純裝置100熱分解，再經過微氧吸附再生裝置200和精密過濾后進入分餾裝置

300分餾，使其中含有的大量四氟化碳返回四氟化碳生產線，提高了四氟化碳回收率；然后

再將含有少量雜質的六氟乙烷氣化，使用隔膜式壓縮機600增壓使緩沖罐500中的六氟乙烷

進入帶壓運行的吸附塔700，將吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器800預冷后依次通過高

沸精餾塔900和低沸精餾塔1000去除雜質，檢測合格儲存于低溫產品儲罐1100內收集，使用

液體泵將合格產品經再次精密過濾后充裝到產品包裝容器內；并達到電子級六氟乙烷的技

術要求；生產出的電子級六氟乙烷不含有會對臭氧層造成破壞的氯元素；可減少溫室氣體

排放，可實現(xiàn)工業(yè)廢氣資源化利用和節(jié)能減排。

[0056] 本發(fā)明是通過優(yōu)選實施例進行描述的，本領域技術人員知悉，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對這些特征和實施例進行各種改變或等效替換。本發(fā)明不受此

處所公開的具體實施例的限制，其他落入本申請的權利要求內的實施例都屬于本發(fā)明保護

的范圍。