權(quán)利要求書： 1.一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，包括柜體(1)，其特征在于：所述柜體(1)的頂部固定連通有入料斗(2)，所述柜體(1)的內(nèi)部設(shè)有多組篩分機(jī)構(gòu)單元(3)；

所述篩分機(jī)構(gòu)單元(3)包括固定連接在柜體(1)中部的隔斷板(5)，所述隔斷板(5)上開設(shè)有傾斜設(shè)置的穿槽(6)，所述柜體(1)的一側(cè)固定連接有篩分網(wǎng)(4)，所述篩分網(wǎng)(4)的一端貫穿穿槽(6)并固定連接有收卷帶(31)，所述篩分網(wǎng)(4)遠(yuǎn)離收卷帶(31)的一端固定連接有固定部(32)，所述固定部(32)的高度高于穿槽(6)；所述柜體(1)內(nèi)部一側(cè)設(shè)有用于篩分網(wǎng)(4)牽引的收放機(jī)構(gòu)，所述收放機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在柜體(1)前后兩側(cè)的收卷軸(14)，柜體(1)的后側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)前端的轉(zhuǎn)軸與收卷軸(14)的后端固定連接，所述收卷帶(31)遠(yuǎn)離篩分網(wǎng)(4)的一端與收卷軸(14)固定連接；

所述隔斷板(5)一側(cè)位于穿槽(6)的頂部設(shè)有用于篩分網(wǎng)(4)表面清理的刮除組件，所述刮除組件包括開設(shè)在隔斷板(5)一側(cè)的開槽(7)，所述開槽(7)的內(nèi)部固定連接有氣缸A(8)，所述氣缸A(8)底部的活動(dòng)端固定連接有連接板(9)，所述連接板(9)的一端固定連接有同步連接柱(10)，所述同步連接柱(10)的底部固定連接有刮片組件(11)；

所述隔斷板(5)一側(cè)位于穿槽(6)的底部固定連接有水平板(16)，所述水平板(16)的頂部放置有收納盒(17)，所述篩分網(wǎng)(4)靠近收卷帶(31)的一端開設(shè)有與收納盒(17)相對應(yīng)的落料口(27)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述隔斷板(5)一側(cè)位于穿槽(6)和收納盒(17)之間設(shè)有用于篩分網(wǎng)(4)限位的支撐組件；

所述支撐組件包括固定連接在隔斷板(5)一側(cè)的支撐板(12)，所述支撐板(12)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述柜體(1)和隔斷板(5)之間設(shè)有復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)(33)，所述復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)(33)包括固定連接在篩分網(wǎng)(4)底部的三組鉸接筒(18)，相鄰兩個(gè)所述鉸接筒(18)的內(nèi)部連接有轉(zhuǎn)動(dòng)件(19)，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)件(19)的底部貫穿鉸接筒(18)的底部并固定連接有同步連接板(21)，所述同步連接板(21)的底部固定連接有氣缸B(22)，所述柜體(1)和隔斷板(5)之間固定連接有架體(23)，所述架體(23)上固定連接有三個(gè)與氣缸B(22)相對應(yīng)的固定板(24)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述同步連接板(21)的頂部固定連接有振動(dòng)器(26)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述氣缸B(22)頂部的活動(dòng)端周向上固定連接有防護(hù)罩(25)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述收卷軸(14)上設(shè)有與收卷帶(31)相對應(yīng)的限位組件(28)，所述限位組件(28)包括固定連接在收卷軸(14)上的兩個(gè)限位環(huán)(29)，兩個(gè)所述限位環(huán)(29)之間的距離與收卷帶(31)寬度相等；

所述收卷帶(31)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述收卷帶(31)分別位于篩分網(wǎng)(4)的前后兩端，所述限位組件(28)的數(shù)量與收卷帶(31)的數(shù)量相等且一一對應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述篩分機(jī)構(gòu)單元(3)設(shè)有三組，三組所述篩分機(jī)構(gòu)單元(3)中篩分網(wǎng)(4)的目數(shù)由上至下依次增加。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述柜體(1)的前側(cè)底部開設(shè)有開口，所述開口內(nèi)可拆卸安裝有收納屜(30)，所述收納屜(30)位于篩分網(wǎng)(4)的正下方。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，其特征在于：所述柜體(1)前側(cè)與收納盒(17)對應(yīng)區(qū)域設(shè)有門體(34)；

所述門體(34)為透明玻璃。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于硅微粉加工的篩分設(shè)備的篩分方法，其特征在于：具體包括以下步驟：

S1，設(shè)備通電調(diào)試，在篩分加工前，首先將需要篩分的硅微粉預(yù)備好，然后將該篩分設(shè)備通電，分別依次啟動(dòng)氣缸A(8)、氣缸B(22)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)，以此方式檢測三組篩分機(jī)構(gòu)單元(3)是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，檢測完畢后，將氣缸A(8)、氣缸B(22)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)將其帶動(dòng)部件復(fù)位，預(yù)備硅微粉的篩分加工；

S2，篩分加工準(zhǔn)備，將硅微粉通過柜體(1)頂部的入料斗(2)向內(nèi)按批次的導(dǎo)入；

S3，粒度分級，通過入料斗(2)進(jìn)入柜體(1)內(nèi)的硅微粉由最頂部的篩分機(jī)構(gòu)單元(3)向下依次進(jìn)行精細(xì)篩分，三個(gè)篩分網(wǎng)(4)從上至下孔徑遞減，由三個(gè)篩分網(wǎng)(4)分別對三種不同粒徑的硅微粉進(jìn)行篩分分離和承托；

S4，篩分過程與收集，進(jìn)入柜體(1)內(nèi)的硅微粉首先在自然重力影響下自然穿過篩分網(wǎng)(4)的孔徑并向下掉落，直至與其孔徑相適配的篩分網(wǎng)(4)接觸；

過程中，在硅微粉重量的影響下將使篩分網(wǎng)(4)對應(yīng)入料斗(2)的區(qū)域呈“U”形向下墜，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)帶動(dòng)收卷軸(14)順時(shí)針和逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，配合收卷帶(31)帶動(dòng)篩分網(wǎng)(4)進(jìn)行繃緊和放松狀態(tài)的來回切換，以此方式使篩分網(wǎng)(4)上的硅微粉厚度降低，達(dá)到大量硅微粉均能在篩分網(wǎng)(4)上表面大面積鋪設(shè)展開的效果，進(jìn)而使不同粒徑的硅微粉能與篩分網(wǎng)(4)的篩分孔徑相接觸，以提高不同粒徑硅微粉的分離效率；

過程中，通過篩分網(wǎng)(4)底部振動(dòng)器(26)的振動(dòng)，能在篩分網(wǎng)(4)對硅微粉進(jìn)行支撐時(shí)，通過振動(dòng)器(26)對篩分網(wǎng)(4)的振動(dòng)，使卡入篩分網(wǎng)(4)孔徑內(nèi)的硅微粉能移出，以便于小于該孔徑的硅微粉能更快速的通過該孔徑下落；

作為特殊，當(dāng)需要篩分的硅微粉量大時(shí)，能通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)帶動(dòng)收卷軸(14)放松篩分網(wǎng)(4)，使落在篩分網(wǎng)(4)上的硅微粉在其自身重量影響下，在三組鉸接筒(18)之間形成多組“U”形槽，以多組“U”形槽增加硅微粉能與篩分網(wǎng)(4)相接觸的面積，同時(shí)能配合振動(dòng)器(26)加快硅微粉的下落速度；

過程中，當(dāng)三組不同粒徑的硅微粉達(dá)到篩分目的后，通過三組氣缸B(22)的向上推頂，以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)(15)帶動(dòng)收卷軸(14)對收卷帶(31)和篩分網(wǎng)(4)的收卷，能使篩分網(wǎng)(4)呈傾斜狀，并與穿槽(6)的傾斜角度匹配，接著在振動(dòng)器(26)的作用下，使篩分網(wǎng)(4)上完成篩分后的硅微粉順著傾斜的篩分網(wǎng)(4)向下輸送，將硅微粉從隔斷板(5)的一側(cè)輸送至隔斷板(5)另一側(cè)，接著通過氣缸A(8)帶動(dòng)連接板(9)、同步連接柱(10)和刮片組件(11)下移至底，使刮片組件(11)的底端貼近篩分網(wǎng)(4)的上表面，然后在氣缸B(22)對篩分網(wǎng)(4)的回拉作用下，使刮片組件(11)將篩分網(wǎng)(4)上的硅微粉刮落進(jìn)落料口(27)并在收納盒(17)進(jìn)行收集，同時(shí)完成篩分網(wǎng)(4)的自動(dòng)復(fù)位，以備對后續(xù)批次硅微粉的篩分處理；

S5，控制調(diào)整，在篩分網(wǎng)(4)配合振動(dòng)器(26)對其上的硅微粉進(jìn)行篩分過程中，根據(jù)篩分網(wǎng)(4)頂部的硅微粉重量，調(diào)整振動(dòng)器(26)的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度，以達(dá)到避免與篩分網(wǎng)(4)孔徑適配的硅微粉緊密卡在篩分網(wǎng)(4)孔徑內(nèi)的情況，通過振動(dòng)頻率和幅度的調(diào)整，使粒徑更小的硅微粉能順利通過篩分網(wǎng)(4)的孔徑下落，以提高對不同粒徑硅微粉的加工篩分效果；

S6，清理和維護(hù)，在每次加工完畢后，對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)清理，其中包括對篩分網(wǎng)(4)表面卡入孔徑的殘留硅微粉的清理，以及對通過三組篩分機(jī)構(gòu)單元(3)后的粉塵和雜質(zhì)殘留的清理，粉塵和雜質(zhì)殘留由設(shè)置在三組篩分機(jī)構(gòu)單元(3)下方的收納屜(30)進(jìn)行收集。

說明書： 一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備及其方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及硅微粉加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備及其方法。背景技術(shù)[0002] 硅微粉一般指石英粉，是用純石英(天然石英或熔融石英)經(jīng)破碎、揀選、清洗、酸處理、高溫熔化、中碎、細(xì)磨、分級、除鐵等多道工序加工而成的符合使用要求的粉體。[0003] 硅微粉主要用于電子行業(yè)，因此對硅微粉的分級有特殊要求，一般不能有大顆粒硅微粉出現(xiàn)。而為了實(shí)現(xiàn)此類要求，通常要通過篩分設(shè)備對硅微粉顆粒進(jìn)行分級篩選。[0004] 目前對硅微粉的顆粒篩選普遍通過對顆粒的震動(dòng)將所需粒徑的顆粒從篩網(wǎng)中篩除，但是由于篩網(wǎng)的孔徑小而要篩分的硅微粉數(shù)量多，因此存在如下問題：[0005] 1、極容易出現(xiàn)硅微粉顆粒物在篩網(wǎng)某一處堆積，因硅微粉顆粒物與篩網(wǎng)接觸面積局限范圍小而導(dǎo)致其篩分效率無法提高；[0006] 2、還容易出現(xiàn)篩分物對孔徑堵塞，導(dǎo)致篩網(wǎng)上堆積厚厚一層硅微粉，在上方積累的硅微粉無法有效通過孔徑完成篩分。[0007] 上述問題嚴(yán)重影響了對硅微粉的篩分效率。[0008] 因此，提出一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備及其方法來解決上述問題很有必要。發(fā)明內(nèi)容[0009] 本發(fā)明的目的在于提供一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備及其方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的硅微粉顆粒物容易在篩網(wǎng)一處堆積，因硅微粉顆粒物與篩網(wǎng)接觸面積局限范圍小而導(dǎo)致其篩分效率無法提高，以及篩分物容易對篩網(wǎng)的孔徑造成堵塞，導(dǎo)致篩網(wǎng)上堆積厚厚一層硅微粉，在上方積累的硅微粉無法有效通過孔徑完成篩分的問題。[0010] 為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，包括柜體，所述柜體的頂部固定連通有入料斗，所述柜體的內(nèi)部設(shè)有多組篩分機(jī)構(gòu)單元；[0011] 所述篩分機(jī)構(gòu)單元包括固定連接在柜體中部的隔斷板，所述隔斷板上開設(shè)有傾斜設(shè)置的穿槽，所述柜體的一側(cè)固定連接有篩分網(wǎng)，所述篩分網(wǎng)的一端貫穿穿槽并固定連接有收卷帶，所述篩分網(wǎng)遠(yuǎn)離收卷帶的一端固定連接有固定部，所述固定部的高度高于穿槽；所述柜體內(nèi)部一側(cè)設(shè)有用于篩分網(wǎng)的收放機(jī)構(gòu)，所述收放機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在柜體前后兩側(cè)的收卷軸，柜體的后側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)前端的轉(zhuǎn)軸與收卷軸的后端固定連接，所述收卷帶遠(yuǎn)離篩分網(wǎng)的一端與收卷軸固定連接；

[0012] 所述隔斷板一側(cè)位于穿槽的頂部設(shè)有用于篩分網(wǎng)表面的刮除組件，所述刮除組件包括開設(shè)在隔斷板一側(cè)的開槽，所述開槽的內(nèi)部固定連接有氣缸A，所述氣缸A底部的活動(dòng)端固定連接有連接板，所述連接板的一端固定連接有同步連接柱，所述同步連接柱的底部固定連接有刮片組件；[0013] 所述隔斷板一側(cè)位于穿槽的底部固定連接有水平板，所述水平板的頂部放置有收納盒，所述篩分網(wǎng)靠近收卷帶的一端開設(shè)有與收納盒相對應(yīng)的落料口。[0014] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述隔斷板一側(cè)位于穿槽和收納盒之間設(shè)有用于篩分網(wǎng)的支撐組件；[0015] 所述支撐組件包括固定連接在隔斷板一側(cè)的支撐板，所述支撐板的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒。[0016] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述柜體和隔斷板之間設(shè)有復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)，所述復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)包括固定連接在篩分網(wǎng)底部的三組鉸接筒，相鄰兩個(gè)所述鉸接筒的內(nèi)部連接有轉(zhuǎn)動(dòng)件，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的底部貫穿鉸接筒的底部并固定連接有同步連接板，所述同步連接板的底部固定連接有氣缸B，所述柜體和隔斷板之間固定連接有架體，所述架體上固定連接有三個(gè)與氣缸B相對應(yīng)的固定板。[0017] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述同步連接板的頂部固定連接有振動(dòng)器。[0018] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述氣缸B頂部的活動(dòng)端周向上固定連接有防護(hù)罩。[0019] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述收卷軸上設(shè)有與收卷帶相對應(yīng)的限位組件，所述限位組件包括固定連接在收卷軸上的兩個(gè)限位環(huán)，兩個(gè)所述限位環(huán)之間的距離與收卷帶寬度相等；[0020] 所述收卷帶的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述收卷帶分別位于篩分網(wǎng)的前后兩端，所述限位組件的數(shù)量與收卷帶的數(shù)量相等且一一對應(yīng)。[0021] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述篩分機(jī)構(gòu)單元設(shè)有三組，三組所述篩分機(jī)構(gòu)單元中篩分網(wǎng)的目數(shù)由上至下依次增加。[0022] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述柜體的前側(cè)底部開設(shè)有開口，所述開口內(nèi)可拆卸安裝有收納屜，所述收納屜位于篩分網(wǎng)的正下方。[0023] 作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述柜體前側(cè)與收納盒對應(yīng)區(qū)域設(shè)有門體；[0024] 所述門體為透明玻璃。[0025] 本發(fā)明還公開了一種用于硅微粉加工的篩分方法，具體包括以下步驟：[0026] S1，設(shè)備通電調(diào)試，在篩分加工前，首先將需要篩分的硅微粉預(yù)備好，然后將該篩分設(shè)備通電，分別依次啟動(dòng)氣缸A、氣缸B和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，以此方式檢測三組篩分機(jī)構(gòu)單元是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，檢測完畢后，將氣缸A、氣缸B和驅(qū)動(dòng)電機(jī)將其帶動(dòng)部件復(fù)位，預(yù)備硅微粉的篩分加工；[0027] S2，篩分加工準(zhǔn)備，將硅微粉通過柜體頂部的入料斗向內(nèi)按批次的導(dǎo)入；[0028] S3，粒度分級，通過入料斗進(jìn)入柜體內(nèi)的硅微粉由最頂部的篩分機(jī)構(gòu)單元向下依次進(jìn)行精細(xì)篩分，三個(gè)篩分網(wǎng)從上至下孔徑遞減，由三個(gè)篩分網(wǎng)分別對三種不同粒徑的硅微粉進(jìn)行篩分分離和承托；[0029] S4，篩分過程與收集，進(jìn)入柜體內(nèi)的硅微粉首先在自然重力影響下自然穿過篩分網(wǎng)的孔徑并向下掉落，直至與其孔徑相適配的篩分網(wǎng)接觸；[0030] 過程中，在硅微粉重量的影響下將使篩分網(wǎng)對應(yīng)入料斗的區(qū)域呈“U”形向下墜，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)收卷軸順時(shí)針和逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，配合收卷帶帶動(dòng)篩分網(wǎng)進(jìn)行繃緊和放松狀態(tài)的來回切換，以此方式使篩分網(wǎng)上的硅微粉厚度降低，達(dá)到大量硅微粉均能在篩分網(wǎng)上表面大面積鋪設(shè)展開的效果，進(jìn)而使不同粒徑的硅微粉能與篩分網(wǎng)的篩分孔徑相接觸，以提高不同粒徑硅微粉的分離效率；[0031] 過程中，通過篩分網(wǎng)底部振動(dòng)器的振動(dòng)，能在篩分網(wǎng)對硅微粉進(jìn)行支撐時(shí)，通過振動(dòng)器對篩分網(wǎng)的振動(dòng)，使卡入篩分網(wǎng)孔徑內(nèi)的硅微粉能移出，以便于小于該孔徑的硅微粉能更快速的通過該孔徑下落；[0032] 作為特殊，當(dāng)需要篩分的硅微粉量大時(shí)，能通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)收卷軸放松篩分網(wǎng)，使落在篩分網(wǎng)上的硅微粉在其自身重量影響下，在三組鉸接筒之間形成多組“U”形槽，以多組“U”形槽增加硅微粉能與篩分網(wǎng)相接觸的面積，同時(shí)能配合振動(dòng)器加快硅微粉的下落速度；[0033] 過程中，當(dāng)三組不同粒徑的硅微粉達(dá)到篩分目的后，通過三組氣缸B的向上推頂，以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)收卷軸對收卷帶和篩分網(wǎng)的收卷，能使篩分網(wǎng)呈傾斜狀，并與穿槽的傾斜角度匹配，接著在振動(dòng)器的作用下，使篩分網(wǎng)上完成篩分后的硅微粉順著傾斜的篩分網(wǎng)向下輸送，將硅微粉從隔斷板的一側(cè)輸送至隔斷板另一側(cè)，接著通過氣缸A帶動(dòng)連接板、同步連接柱和刮片組件下移至底，使刮片組件的底端貼近篩分網(wǎng)的上表面，然后在氣缸B對篩分網(wǎng)的回拉作用下，使刮片組件將篩分網(wǎng)上的硅微粉刮落進(jìn)落料口并在收納盒進(jìn)行收集，同時(shí)完成篩分網(wǎng)的自動(dòng)復(fù)位，以備對后續(xù)批次硅微粉的篩分處理；[0034] S5，控制調(diào)整，在篩分網(wǎng)配合振動(dòng)器對其上的硅微粉進(jìn)行篩分過程中，根據(jù)篩分網(wǎng)頂部的硅微粉重量，調(diào)整振動(dòng)器的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度，以達(dá)到避免與篩分網(wǎng)孔徑適配的硅微粉緊密卡在篩分網(wǎng)孔徑內(nèi)的情況，通過振動(dòng)頻率和幅度的調(diào)整，使粒徑更小的硅微粉能順利通過篩分網(wǎng)的孔徑下落，以提高對不同粒徑硅微粉的加工篩分效果；[0035] S6，清理和維護(hù)，在每次加工完畢后，對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)清理，其中包括對篩分網(wǎng)表面卡入孔徑的殘留硅微粉的清理，以及對通過三組篩分機(jī)構(gòu)單元后的粉塵和雜質(zhì)殘留的清理，粉塵和雜質(zhì)殘留由設(shè)置在三組篩分機(jī)構(gòu)單元下方的收納屜進(jìn)行收集。[0036] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備及其方法，具備以下有益效果：[0037] 1、該用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，篩分機(jī)構(gòu)單元通過篩分網(wǎng)對硅微粉進(jìn)行篩分分離，收放機(jī)構(gòu)中驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)收卷軸的順時(shí)針和逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，能對篩分網(wǎng)的松弛和緊繃狀態(tài)進(jìn)行切換，此過程中，將能使原本位于篩分網(wǎng)中部“U”形區(qū)域的硅微粉能大范圍與其他未能與硅微粉相接觸的區(qū)域相互接觸，進(jìn)而通過提高硅微粉與篩分網(wǎng)接觸面積的效果，減小篩分網(wǎng)上硅微粉堆積厚度，提高硅微粉在篩分網(wǎng)上的篩分效率。[0038] 2、當(dāng)篩分網(wǎng)的一端在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下向收卷軸方向收卷移動(dòng)時(shí)，在氣缸A的帶動(dòng)下使刮片組件上移而不與篩分網(wǎng)產(chǎn)生接觸，不使篩分網(wǎng)上硅微粉在向外輸送時(shí)對其產(chǎn)生阻礙影響。兩個(gè)開槽內(nèi)的氣缸A能使同步連接柱和刮片組件的上下移動(dòng)更穩(wěn)定，進(jìn)而提高刮片組件對篩分網(wǎng)上硅微粉刮除時(shí)的穩(wěn)定性。[0039] 3、篩分網(wǎng)對應(yīng)入料斗區(qū)域的下落能配合驅(qū)動(dòng)電機(jī)對收卷帶的放出，使篩分網(wǎng)靠近固定部的一端復(fù)位，在此過程中，通過篩分網(wǎng)與刮片組件的配合，能將篩分網(wǎng)上的硅微粉進(jìn)行刮除，硅微粉在不斷向后刮除移動(dòng)過程中，通過落料口后落入收納盒中收集。支撐組件能對篩分網(wǎng)靠近刮除組件的區(qū)域進(jìn)行限位支撐，能提高刮片組件對篩分網(wǎng)上硅微粉刮除的穩(wěn)定性。[0040] 4、氣缸B能通過其頂部的活動(dòng)端帶動(dòng)篩分網(wǎng)的局部進(jìn)行移動(dòng)。能在篩分網(wǎng)對硅微粉進(jìn)行承托篩分時(shí)，通過三個(gè)氣缸B對篩分網(wǎng)的支撐，并在與硅微粉自身重力影響下，在三個(gè)氣缸B之間形成多個(gè)“U”形區(qū)，以多個(gè)“U”形區(qū)能提高與硅微粉的接觸面積，進(jìn)而提高對不同粒徑的硅微粉的篩分速度；其次當(dāng)篩分網(wǎng)上完成硅微粉的篩分后，通過三個(gè)氣缸B帶動(dòng)篩分網(wǎng)向上移動(dòng)，并在與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的收卷配合下，能使篩分網(wǎng)呈傾斜且繃緊狀，以便于篩分網(wǎng)及其上的硅微粉通過穿槽；此外，硅微粉篩分后并向外刮除完畢后，能通過三個(gè)氣缸B活動(dòng)端的回拉，牽引篩分網(wǎng)復(fù)位，對篩分網(wǎng)的多個(gè)位置進(jìn)行支撐，以準(zhǔn)備對后續(xù)另一批次的硅微粉的支撐和篩分。[0041] 5、在篩分網(wǎng)呈傾斜狀并將硅微粉向外輸送過程中，能通過振動(dòng)器的振動(dòng)提高硅微粉的下移速度。其次該振動(dòng)器還能在篩分網(wǎng)對不同粒徑大小的硅微粉進(jìn)行篩分過程中，將篩分網(wǎng)孔徑中的硅微粉振出，以便于小于該孔徑的硅微粉通過該孔徑下落，進(jìn)而達(dá)到提高硅微粉篩分效率的目的。[0042] 6、架體設(shè)置為長條狀架體，長條狀架體能避免硅微粉在其上積累，其次，氣缸B頂部的活動(dòng)端周向上通過設(shè)置防護(hù)罩，防護(hù)罩頂部呈曲面狀，落在防護(hù)罩頂部的硅微粉將在曲面結(jié)構(gòu)導(dǎo)向下自然下落而不產(chǎn)生積累，能避免硅微粉大量在氣缸B的縫隙出積累的情況，借此能提高氣缸B使用時(shí)的穩(wěn)定性及其使用壽命。[0043] 7、限位組件通過兩個(gè)限位環(huán)對收卷帶的收卷位置進(jìn)行限位，使收卷帶在收卷或放出時(shí)，保持其收卷和放出的穩(wěn)定性，避免對收卷帶進(jìn)行卷收時(shí)出現(xiàn)收卷帶的偏移問題。附圖說明[0044] 圖1為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備整體三維結(jié)構(gòu)的示意圖；[0045] 圖2為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)的示意圖；[0046] 圖3為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備中篩分機(jī)構(gòu)單元結(jié)構(gòu)的示意圖；[0047] 圖4為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備圖3中A區(qū)結(jié)構(gòu)放大的示意圖；[0048] 圖5為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備中復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的示意圖；[0049] 圖6為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備圖5中B區(qū)結(jié)構(gòu)放大的示意圖；[0050] 圖7為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備中刮除組件結(jié)構(gòu)的示意圖；[0051] 圖8為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備中復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)對篩分網(wǎng)支撐結(jié)構(gòu)I的示意圖；[0052] 圖9為本發(fā)明用于硅微粉加工的篩分設(shè)備中復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)對篩分網(wǎng)支撐結(jié)構(gòu)II的示意圖。[0053] 圖中：1、柜體；2、入料斗；3、篩分機(jī)構(gòu)單元；4、篩分網(wǎng)；5、隔斷板；6、穿槽；7、開槽；8、氣缸A；9、連接板；10、同步連接柱；11、刮片組件；12、支撐板；13、轉(zhuǎn)動(dòng)筒；14、收卷軸；15、驅(qū)動(dòng)電機(jī)；16、水平板；17、收納盒；18、鉸接筒；19、轉(zhuǎn)動(dòng)件；21、同步連接板；22、氣缸B；23、架體；24、固定板；25、防護(hù)罩；26、振動(dòng)器；27、落料口；28、限位組件；29、限位環(huán)；30、收納屜；

31、收卷帶；32、固定部；33、復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)；34、門體。

具體實(shí)施方式[0054] 為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)描述。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。[0055] 在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是，本發(fā)明還可以采用其他不同于此描述的方式來實(shí)施，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。[0056] 請參閱圖1?9所示，本申請的一個(gè)實(shí)施例中提供了一種用于硅微粉加工的篩分設(shè)備，包括柜體1，所述柜體1的頂部固定連通有入料斗2，所述柜體1的內(nèi)部設(shè)有多組篩分機(jī)構(gòu)單元3。[0057] 本實(shí)施例中，由多組篩分機(jī)構(gòu)單元3作為該用于硅微粉加工的篩分設(shè)備的主要篩分區(qū)，多組篩分機(jī)構(gòu)單元3通過其不同篩分孔徑實(shí)現(xiàn)對不同粒徑的硅微粉的篩分分離。[0058] 其中，請繼續(xù)參閱圖2所示，所述篩分機(jī)構(gòu)單元3設(shè)有三組，三組所述篩分機(jī)構(gòu)單元3中篩分網(wǎng)4的目數(shù)由上至下依次增加，即大、中、小三種不同粒徑的硅微粉由上至下進(jìn)行分類收集。

[0059] 具體的，如圖2和圖3所示，所述篩分機(jī)構(gòu)單元3包括固定連接在柜體1中部的隔斷板5，所述隔斷板5上開設(shè)有傾斜設(shè)置的穿槽6，所述柜體1的一側(cè)固定連接有篩分網(wǎng)4，所述篩分網(wǎng)4的一端貫穿穿槽6并固定連接有收卷帶31，所述篩分網(wǎng)4遠(yuǎn)離收卷帶31的一端固定連接有固定部32，所述固定部32的高度高于穿槽6；所述柜體1內(nèi)部一側(cè)設(shè)有用于篩分網(wǎng)4牽引的收放機(jī)構(gòu)，所述收放機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接在柜體1前后兩側(cè)的收卷軸14，柜體1的后側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)15，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)15前端的轉(zhuǎn)軸與收卷軸14的后端固定連接，所述收卷帶31遠(yuǎn)離篩分網(wǎng)4的一端與收卷軸14固定連接。[0060] 篩分機(jī)構(gòu)單元3中通過篩分網(wǎng)4對硅微粉進(jìn)行篩分分離，通過收放機(jī)構(gòu)中驅(qū)動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)收卷軸14的順時(shí)針和逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，能對篩分網(wǎng)4的松弛和緊繃狀態(tài)進(jìn)行切換，此過程中，將能使原本位于篩分網(wǎng)4中部“U”形區(qū)域的硅微粉能大范圍與其他未能與硅微粉相接觸的區(qū)域相互接觸，進(jìn)而通過提高硅微粉與篩分網(wǎng)4接觸面積的效果，提高硅微粉在篩分網(wǎng)4上的篩分效率。

[0061] 其中，如圖3所示，在所述隔斷板5一側(cè)位于穿槽6的頂部設(shè)有用于篩分網(wǎng)4表面清理的刮除組件，所述刮除組件包括開設(shè)在隔斷板5一側(cè)的開槽7，所述開槽7的內(nèi)部固定連接有氣缸A8，所述氣缸A8底部的活動(dòng)端固定連接有連接板9，所述連接板9的一端固定連接有同步連接柱10，所述同步連接柱10的底部固定連接有刮片組件11。[0062] 當(dāng)篩分網(wǎng)4的一端在驅(qū)動(dòng)電機(jī)15的帶動(dòng)下向收卷軸14方向收卷移動(dòng)時(shí)，此時(shí)在氣缸A8的帶動(dòng)下使刮片組件11上移而不與篩分網(wǎng)4產(chǎn)生接觸，以避免對篩分網(wǎng)4上硅微粉的向外輸送產(chǎn)生阻礙影響。[0063] 其中，開槽7的數(shù)量設(shè)有兩個(gè)，通過兩個(gè)開槽7內(nèi)的氣缸A8能使同步連接柱10和刮片組件11的上下移動(dòng)更穩(wěn)定，同時(shí)提高刮片組件11對篩分網(wǎng)4上硅微粉刮除時(shí)的穩(wěn)定性。[0064] 如圖3和圖4所示，在所述隔斷板5一側(cè)位于穿槽6的底部固定連接有水平板16，所述水平板16的頂部放置有收納盒17，所述篩分網(wǎng)4靠近收卷帶31的一端開設(shè)有與收納盒17相對應(yīng)的落料口27。[0065] 通過篩分網(wǎng)4對應(yīng)入料斗2區(qū)域的下落(如待篩分后批次的硅微粉向柜體1內(nèi)的導(dǎo)入)，能配合驅(qū)動(dòng)電機(jī)15對收卷帶31的放出，使篩分網(wǎng)4靠近固定部32的一端復(fù)位，在此過程中，通過篩分網(wǎng)4與刮片組件11的配合，能將篩分網(wǎng)4上的硅微粉進(jìn)行刮除，硅微粉在不斷向后刮除過程中，通過落料口27后落入收納盒17中收集。[0066] 其中收納盒17能通過卡接設(shè)置在水平板16上，通過卡接方式提高水平板16與收納盒17連接的穩(wěn)定性。[0067] 進(jìn)一步地，如圖4所示，在所述隔斷板5一側(cè)位于穿槽6和收納盒17之間設(shè)有用于篩分網(wǎng)4限位的支撐組件。通過支撐組件能對篩分網(wǎng)4靠近刮除組件的區(qū)域進(jìn)行限位支撐，以提高刮片組件11對篩分網(wǎng)4上硅微粉刮除的穩(wěn)定性。[0068] 所述支撐組件包括固定連接在隔斷板5一側(cè)的支撐板12，所述支撐板12的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒13，在支撐板12的支撐下，使轉(zhuǎn)動(dòng)筒13與篩分網(wǎng)4下表面貼合，轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)筒13能避免對篩分網(wǎng)4造成損壞。[0069] 其中，支撐組件設(shè)置為兩組，通過兩組支撐板12和轉(zhuǎn)動(dòng)筒13進(jìn)一步提高對篩分網(wǎng)4支撐的穩(wěn)定性，使篩分網(wǎng)4的移動(dòng)過程更流暢。[0070] 請著重參閱圖3、圖5?9所示，所述柜體1和隔斷板5之間設(shè)有復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)33，所述復(fù)位支撐機(jī)構(gòu)33包括固定連接在篩分網(wǎng)4底部的三組鉸接筒18，相鄰兩個(gè)所述鉸接筒18的內(nèi)部連接有轉(zhuǎn)動(dòng)件19，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)件19的底部貫穿鉸接筒18的底部并固定連接有同步連接板21，所述同步連接板21的底部固定連接有氣缸B22，所述柜體1和隔斷板5之間固定連接有架體23，所述架體23上固定連接有三個(gè)與氣缸B22相對應(yīng)的固定板24。[0071] 三個(gè)氣缸B22分別通過兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件19與篩分網(wǎng)4上的鉸接筒18連接，在此基礎(chǔ)上，氣缸B22能通過其頂部的活動(dòng)端帶動(dòng)篩分網(wǎng)4的局部進(jìn)行移動(dòng)。其中能在篩分網(wǎng)4對硅微粉進(jìn)行承托篩分時(shí)，通過三個(gè)氣缸B22對篩分網(wǎng)4的支撐，并在與硅微粉自身重力影響下，能在三個(gè)氣缸B22之間形成多個(gè)“U”形區(qū)，以多個(gè)“U”形區(qū)能提高與硅微粉的接觸面積，進(jìn)而提高對不同粒徑的硅微粉的篩分速度；其次當(dāng)篩分網(wǎng)4上完成硅微粉的篩分后，通過三個(gè)氣缸B22帶動(dòng)篩分網(wǎng)4向上移動(dòng)，并在與驅(qū)動(dòng)電機(jī)15的收卷配合下，能使篩分網(wǎng)4呈傾斜且繃緊狀，以便于篩分網(wǎng)4及其上的硅微粉通過穿槽6；此外，當(dāng)硅微粉篩分后并向外刮除完畢后，能通過三個(gè)氣缸B22活動(dòng)端的回拉，牽引篩分網(wǎng)4復(fù)位，對篩分網(wǎng)4的多個(gè)位置進(jìn)行支撐，以準(zhǔn)備對后續(xù)另一批次的硅微粉的支撐和篩分。[0072] 其中，進(jìn)一步地，請繼續(xù)參閱圖6所示，為了提高傾斜狀篩分網(wǎng)4上硅微粉的下落速度，在所述同步連接板21的頂部固定連接有振動(dòng)器26，在篩分網(wǎng)4呈傾斜狀并將硅微粉向外輸送過程中，能通過振動(dòng)器26的振動(dòng)提高硅微粉的下移速度。其次，該振動(dòng)器26還能在篩分網(wǎng)4對不同粒徑大小的硅微粉進(jìn)行篩分過程中，將篩分網(wǎng)4孔徑中的硅微粉振出，以便于小于該孔徑的硅微粉通過該孔徑下落，進(jìn)而達(dá)到提高硅微粉篩分效率的目的。[0073] 其中，更進(jìn)一步地，請繼續(xù)參閱圖3和圖5所示，架體23設(shè)置為長條狀架體，該長條狀架體能避免硅微粉在其上積累。在所述氣缸B22頂部的活動(dòng)端周向上還能固定連接有防護(hù)罩25，通過防護(hù)罩25能避免硅微粉大量在氣缸B22的縫隙出積累的問題，進(jìn)而提高氣缸B22使用時(shí)的穩(wěn)定性及其使用壽命。該防護(hù)罩25頂部呈曲面狀，落在防護(hù)罩25頂部的硅微粉將在曲面結(jié)構(gòu)導(dǎo)向下自然下落而不產(chǎn)生積累問題。[0074] 請著重參閱圖3和圖7所示，在所述收卷軸14上設(shè)有與收卷帶31相對應(yīng)的限位組件28，所述限位組件28包括固定連接在收卷軸14上的兩個(gè)限位環(huán)29，兩個(gè)所述限位環(huán)29之間的距離與收卷帶31寬度相等。通過限位組件28中兩個(gè)限位環(huán)29能對收卷帶31的收卷位置進(jìn)行限制，進(jìn)而使收卷帶31在收卷或放出時(shí)，保持其收卷和放出的穩(wěn)定性，避免對收卷帶31進(jìn)行卷收時(shí)出現(xiàn)收卷帶31的偏移問題。

[0075] 進(jìn)一步地，能將所述收卷帶31的數(shù)量設(shè)為兩個(gè)，兩個(gè)所述收卷帶31分別位于篩分網(wǎng)4的前后兩端，所述限位組件28的數(shù)量與收卷帶31的數(shù)量相等且一一對應(yīng)。通過兩組限位組件28分別與兩個(gè)收卷帶31對應(yīng)，兩個(gè)收卷帶31設(shè)置在篩分網(wǎng)4的前后兩端能使篩分網(wǎng)4和收卷帶31在牽拉移動(dòng)時(shí)能保持受力均勻，進(jìn)而提高篩分網(wǎng)4牽拉時(shí)的穩(wěn)定性。[0076] 請參閱圖1和圖2所示，在所述柜體1的前側(cè)底部開設(shè)有開口，所述開口內(nèi)可拆卸安裝有收納屜30，所述收納屜30位于篩分網(wǎng)4的正下方。通過收納屜30能對粉塵和細(xì)小雜質(zhì)進(jìn)行收集，經(jīng)三組所述篩分機(jī)構(gòu)單元3篩分后的粉塵和細(xì)小顆粒雜質(zhì)集中儲(chǔ)存于該收納屜30中。[0077] 進(jìn)一步地，如圖1和圖2所示，在所述柜體1前側(cè)與收納盒17對應(yīng)區(qū)域設(shè)有門體34，通過門體34能將柜體1開啟，將柜體1內(nèi)部的收納盒17取出，以對特定粒徑的硅微粉進(jìn)行集中收集。所述門體34能設(shè)置為透明玻璃，以便于從柜體1的外部觀測到柜體1內(nèi)收納盒17對硅微粉的收集情況。[0078] 請參閱圖1?9所示，本申請還公開一種依靠上述用于硅微粉加工的篩分設(shè)備的篩分方法，具體包括以下步驟：[0079] S1，設(shè)備通電調(diào)試，在篩分加工前，首先將需要篩分的硅微粉預(yù)備好，然后將該篩分設(shè)備通電，分別依次啟動(dòng)氣缸A8、氣缸B22和驅(qū)動(dòng)電機(jī)15，以此方式檢測三組篩分機(jī)構(gòu)單元3是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，檢測完畢后，將氣缸A8、氣缸B22和驅(qū)動(dòng)電機(jī)15將其帶動(dòng)部件復(fù)位，預(yù)備硅微粉的篩分加工；[0080] S2，篩分加工準(zhǔn)備，將硅微粉通過柜體1頂部的入料斗2向內(nèi)按批次的導(dǎo)入；[0081] S3，粒度分級，通過入料斗2進(jìn)入柜體1內(nèi)的硅微粉由最頂部的篩分機(jī)構(gòu)單元3向下依次進(jìn)行精細(xì)篩分，三個(gè)篩分網(wǎng)4從上至下孔徑遞減，由三個(gè)篩分網(wǎng)4分別對三種不同粒徑的硅微粉進(jìn)行篩分分離和承托；[0082] S4，篩分過程與收集，進(jìn)入柜體1內(nèi)的硅微粉首先在自然重力影響下自然穿過篩分網(wǎng)4的孔徑并向下掉落，直至與其孔徑相適配的篩分網(wǎng)4接觸；[0083] 過程中，在硅微粉重量的影響下將使篩分網(wǎng)4對應(yīng)入料斗2的區(qū)域呈“U”形向下墜，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)收卷軸14順時(shí)針和逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，配合收卷帶31帶動(dòng)篩分網(wǎng)4進(jìn)行繃緊和放松狀態(tài)的來回切換，以此方式使篩分網(wǎng)4上的硅微粉厚度降低，達(dá)到大量硅微粉均能在篩分網(wǎng)4上表面大面積鋪設(shè)展開的效果，進(jìn)而使不同粒徑的硅微粉能與篩分網(wǎng)4的篩分孔徑相接觸，以提高不同粒徑硅微粉的分離效率；[0084] 過程中，通過篩分網(wǎng)4底部振動(dòng)器26的振動(dòng)，能在篩分網(wǎng)4對硅微粉進(jìn)行支撐時(shí)，通過振動(dòng)器26對篩分網(wǎng)4的振動(dòng)，使卡入篩分網(wǎng)4孔徑內(nèi)的硅微粉能移出，以便于小于該孔徑的硅微粉能更快速的通過該孔徑下落；[0085] 作為特殊，當(dāng)需要篩分的硅微粉量大時(shí)，能通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)收卷軸14放松篩分網(wǎng)4，使落在篩分網(wǎng)4上的硅微粉在其自身重量影響下，在三組鉸接筒18之間形成多組“U”形槽，以多組“U”形槽增加硅微粉能與篩分網(wǎng)4相接觸的面積，同時(shí)能配合振動(dòng)器26加快硅微粉的下落速度；[0086] 過程中，當(dāng)三組不同粒徑的硅微粉達(dá)到篩分目的后，通過三組氣缸B22的向上推頂，以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)收卷軸14對收卷帶31和篩分網(wǎng)4的收卷，能使篩分網(wǎng)4呈傾斜狀，并與穿槽6的傾斜角度匹配，接著在振動(dòng)器26的作用下，使篩分網(wǎng)4上完成篩分后的硅微粉順著傾斜的篩分網(wǎng)4向下輸送，將硅微粉從隔斷板5的一側(cè)輸送至隔斷板5另一側(cè)，接著通過氣缸A8帶動(dòng)連接板9、同步連接柱10和刮片組件11下移至底，使刮片組件11的底端貼近篩分網(wǎng)4的上表面，然后在氣缸B22對篩分網(wǎng)4的回拉作用下，使刮片組件11將篩分網(wǎng)4上的硅微粉刮落進(jìn)落料口27并在收納盒17進(jìn)行收集，同時(shí)完成篩分網(wǎng)4的自動(dòng)復(fù)位，以備對后續(xù)批次硅微粉的篩分處理；

[0087] S5，控制調(diào)整，在篩分網(wǎng)4配合振動(dòng)器26對其上的硅微粉進(jìn)行篩分過程中，根據(jù)篩分網(wǎng)4頂部的硅微粉重量，調(diào)整振動(dòng)器26的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度，以達(dá)到避免與篩分網(wǎng)4孔徑適配的硅微粉緊密卡在篩分網(wǎng)4孔徑內(nèi)的情況，通過振動(dòng)頻率和幅度的調(diào)整，使粒徑更小的硅微粉能順利通過篩分網(wǎng)4的孔徑下落，以提高對不同粒徑硅微粉的加工篩分效果；[0088] S6，清理和維護(hù)，在每次加工完畢后，對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)清理，其中包括對篩分網(wǎng)4表面卡入孔徑的殘留硅微粉的清理，以及對通過三組篩分機(jī)構(gòu)單元3后的粉塵和雜質(zhì)殘留的清理，粉塵和雜質(zhì)殘留由設(shè)置在三組篩分機(jī)構(gòu)單元3下方的收納屜30進(jìn)行收集。[0089] 以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等同變換，或直接或間接運(yùn)用在相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。