權(quán)利要求書： 1.一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：形成原片太陽能電池片，所述原片太陽能電池片包括透明導(dǎo)電層；

分割所述原片太陽能電池片以形成至少兩片切片太陽能電池片；

采用干法清洗工藝至少清洗所述切片太陽能電池片的分割面；所述采用干法清洗工藝清洗所述切片太陽能電池片的步驟包括：使用清洗氣流吹洗所述分割面，之后將所述切片太陽能電池片靜置于室溫環(huán)境下；所述清洗氣流至少包括空氣和惰性氣體，所述清洗氣流的溫度適于使所述切片太陽能電池片降溫；所述清洗氣流中增設(shè)干冰顆粒，在使用所述清洗氣流吹洗所述分割面的過程中，所述清洗氣流攜帶所述干冰顆粒非平行于所述分割面進(jìn)行噴射；

進(jìn)行所述干法清洗工藝之后，在所述切片太陽能電池片的表面形成柵線電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，還包括：噴射所述清洗氣流的速率范圍為400m/s～900m/s，噴射所述清洗氣流的方向與所述分割面之間的夾角角度范圍為15°～90°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，所述清洗氣流的溫度范圍為?120℃～?80℃；

3 3

所述清洗氣流的流量范圍為0.5m/min～3m/min；

所述清洗氣流的吹洗時間為10s～60s；

將所述切片太陽能電池片靜置于室溫環(huán)境下的時間為3min～20min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，使用所述清洗氣流吹洗所述分割面的步驟為，采用文丘里噴嘴噴射所述清洗氣流。

5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，在進(jìn)行所述干法清洗工藝之后，所述切片太陽能電池片的表面形成柵線電極之前，所述太陽能電池片的制造方法還包括：對所述切片太陽能電池片進(jìn)行鈍化處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，對所述切片太陽能電池片進(jìn)行鈍化處理的步驟包括：采用鈍化液對所述分割面進(jìn)行鈍化處理；其中：所述鈍化液中具有臭氧，臭氧的質(zhì)量濃度范圍為30PPM～300PPM；鈍化處理的時間范圍為20s～180s。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，在進(jìn)行所述鈍化處理之后、形成所述柵線電極之前，所述太陽能電池片的制造方法還包括：對所述切片太陽能電池片進(jìn)行水洗處理；以及，對所述切片太陽能電池片進(jìn)行干燥處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的太陽能電池片的制造方法，其特征在于，形成原片太陽能電池片的步驟包括：提供半導(dǎo)體襯底層；

在所述半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第一本征非晶硅層；

在所述半導(dǎo)體襯底層另一側(cè)表面形成第二本征非晶硅層；

在所述第一本征非晶硅層背向所述半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層；所述第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型與半導(dǎo)體襯底層的導(dǎo)電類型相反；

在所述第二本征非晶硅層背向所述半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層；所述第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型與第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型相反；

在所述第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層背向所述半導(dǎo)體襯底層的一側(cè)形成第一透明導(dǎo)電層；

在所述第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層背向所述半導(dǎo)體襯底層的一側(cè)形成第二透明導(dǎo)電層。

說明書： 太陽能電池片的制造方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能電池片的制造方法。背景技術(shù)[0002] 太陽能電池具有清潔無污染、可再生、工作性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)太陽能電池結(jié)構(gòu)、制備工藝和使用材料的不同，太陽能電池劃分為不同的類型。包括：硅基太陽能電池、多元化合物薄膜太陽能電池、聚合物多層修飾電極型太陽能電池、有機(jī)太陽能電池等，其中硅基太陽能電池是發(fā)展最成熟的，例如異質(zhì)結(jié)太陽能電池等。以異質(zhì)結(jié)太陽能電池作為示例，其在N型襯底的一側(cè)或兩側(cè)制備半導(dǎo)體層、透明導(dǎo)電層和金屬電極形成電池片，多個電池片互聯(lián)并封裝形成組件，組件發(fā)電后通過逆變器回饋電網(wǎng)。[0003] 在太陽能電池領(lǐng)域，半片技術(shù)是降低組件封裝損失、提高組件功率的有效途徑。半片技術(shù)即將標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格電池片分割成相同的兩個半片電池片再進(jìn)行互聯(lián)。分割異質(zhì)結(jié)太陽能電池之后，通常會在殘留透明導(dǎo)電層產(chǎn)生的碎片，這些殘留碎片附著于分割面上會導(dǎo)致P型層與N型襯底導(dǎo)通，造成電池片光電轉(zhuǎn)化效率降低。此外，分割工藝通常在完成整片電池片結(jié)構(gòu)之后進(jìn)行，常規(guī)清洗殘留碎片的方法易對電池片表面的金屬電極造成損傷，因此難以直接應(yīng)用。發(fā)明內(nèi)容[0004] 本發(fā)明提供一種太陽能電池片制造方法，用于解決因分割造成太陽能電池片光電轉(zhuǎn)化效率降低的問題。[0005] 本發(fā)明提供一種太陽能電池片的制造方法，包括以下步驟：形成原片太陽能電池片，原片太陽能電池片包括透明導(dǎo)電層；分割原片太陽能電池片以形成至少兩片切片太陽能電池片；采用干法清洗工藝至少清洗切片太陽能電池片的分割面；進(jìn)行干法清洗工藝之后，在切片太陽能電池片的表面形成柵線電極。[0006] 可選的，采用干法清洗工藝清洗切片太陽能電池片的步驟包括：使用清洗氣流吹洗分割面，之后將切片太陽能電池片靜置于室溫環(huán)境下；清洗氣流至少包括空氣和惰性氣體，清洗氣流的溫度適于使切片太陽能電池片降溫。[0007] 可選的，所述清洗氣流中增設(shè)干冰顆粒，在使用所述清洗氣流吹洗所述分割面的過程中，所述清洗氣流攜帶所述干冰顆粒非平行于所述分割面進(jìn)行噴射。[0008] 可選的，噴射所述清洗氣流的速率為400m/s～900m/s，噴射所述清洗氣流的方向與所述分割面之間的夾角角度為15°～90°。[0009] 可選的，清洗氣流包括惰性空氣和惰性氣體；清洗氣流的溫度為?120℃～?80℃；3 3

清洗氣流的流量為0.5m/min～3m/min；清洗氣流的吹洗時間為10s～60s；將切片太陽能電池片靜置于室溫環(huán)境下的時間為3min～20min。

[0010] 可選的，使用清洗氣流吹洗分割面的步驟采用文丘里噴嘴噴射清洗氣流。[0011] 可選的，采用干法清洗工藝清洗切片太陽能電池片，且在形成柵線電極之前，太陽能電池片的制造方法還包括：對切片太陽能電池片進(jìn)行鈍化處理。[0012] 可選的，對切片太陽能電池片進(jìn)行鈍化處理的步驟包括：采用鈍化液對分割面進(jìn)行鈍化處理。[0013] 可選的，鈍化液中具有臭氧，臭氧的質(zhì)量濃度為30PPM～300PPM；鈍化處理的時間為20s～180s。[0014] 可選的，進(jìn)行鈍化處理之后，且在形成柵線電極之前，太陽能電池片的制造方法還包括：對切片太陽能電池片進(jìn)行水洗處理。以及，進(jìn)行水洗處理之后，對切片太陽能電池片進(jìn)行干燥處理。[0015] 可選的，形成原片太陽能電池片的步驟包括：提供半導(dǎo)體襯底層；在半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第一本征非晶硅層；在半導(dǎo)體襯底層另一側(cè)表面形成第二本征非晶硅層；在第一本征非晶硅層背向半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層，第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型與半導(dǎo)體襯底層的導(dǎo)電類型相反；在第二本征非晶硅層背向半導(dǎo)體襯底層一側(cè)表面形成第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層；第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型與第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層的導(dǎo)電類型相反；在第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層背向半導(dǎo)體襯底層的一側(cè)形成第一透明導(dǎo)電層；在第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層背向半導(dǎo)體襯底層的一側(cè)形成第二透明導(dǎo)電層。[0016] 本發(fā)明的有益效果在于：[0017] 1.本發(fā)明的太陽能電池片的制造方法，對分割原片太陽能電池片形成的切片太陽能電池片進(jìn)行干法清洗，以處理分割原片太陽能電池片時所形成的殘留碎片，降低載流子發(fā)生復(fù)合而湮滅的幾率。在采用干法清洗工藝去除因分割造成的透明導(dǎo)電層殘留碎片的基礎(chǔ)上，將形成柵線電極的步驟調(diào)節(jié)為在干法清洗之后進(jìn)行，因此干法清洗的步驟不會對柵線電極造成物理損傷，避免對柵線電極的表面平整度造成影響，避免柵線電極的表面平整度因清洗造成缺陷，因此提高了太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，干法清洗工藝對切片太陽能電池片的各膜層損傷較小。[0018] 2.本發(fā)明的太陽能電池片的制造方法，通過清洗氣流吹洗的方式，一方面可通過氣體吹洗分割面以去除分割面上附著的因分割而形成的部分透明導(dǎo)電層的殘留碎片和附著的雜質(zhì)，提高太陽能電池片的光電轉(zhuǎn)化效率；另一方面通過清洗氣流對切片太陽能電池片降溫，之后再靜置回溫的方式，使得分割面上通過清洗氣流吹洗仍未去除的另一部分透明導(dǎo)電層的殘留碎片，通過氣體降溫?靜置回溫的過程經(jīng)歷一個先冷縮再熱脹的過程，從分割面上自然脫落。此外，通過氣流吹洗分割面對切片太陽能電池片的損傷較少。并且可通過氣體的選擇和清洗氣流的裝置的選擇實(shí)現(xiàn)對清洗效果的控制，對殘留碎片的精準(zhǔn)去除。[0019] 3.本發(fā)明的太陽能電池片的制造方法，通過噴射含有干冰顆粒的清洗氣流的方式，一方面可實(shí)現(xiàn)吹洗殘留碎片和分割面表面附著的雜質(zhì)，另一方面一部分干冰顆粒在噴射過程中氣化吸收大量熱，可使得分割面處于較低的氣氛環(huán)境中，而實(shí)現(xiàn)切片太陽能電池片的快速降溫；另一部分干冰顆粒以顆粒形式?jīng)_擊到分割面上的殘留碎片，以輔助去除殘留碎片；并且干冰顆粒易于氣化，不會在分割面上形成殘留。附圖說明[0020] 為了更清除地說明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0021] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池片的制造方法的流程示意圖；[0022] 圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的原片太陽能電池片的結(jié)構(gòu)示意圖；[0023] 圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池片的制造方法中切片太陽能電池片的分割面清洗過程中的狀態(tài)示意圖；[0024] 附圖標(biāo)記：[0025] 100、原片太陽能電池片；101、半導(dǎo)體襯底層；102、第二本征非晶硅層；103、第一本征非晶硅層；104、第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層；105、第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層；106、第二透明導(dǎo)電層；107、第一透明導(dǎo)電層；200、切片太陽能電池片；A、分割面；B、噴射裝置。具體實(shí)施方式[0026] 本發(fā)明實(shí)施例提供一種太陽能電池片的制造方法，包括以下步驟：[0027] 形成原片太陽能電池片，原片太陽能電池片包括透明導(dǎo)電層；[0028] 分割原片太陽能電池片以形成至少兩片切片太陽能電池片；[0029] 采用干法清洗工藝至少清洗切片太陽能電池片的分割面；[0030] 進(jìn)行干法清洗工藝之后，在切片太陽能電池片的表面形成柵線電極。[0031] 本發(fā)明的太陽能電池片的制造方法，通過調(diào)節(jié)柵線電極的形成順序，并采用干法清洗工藝去除因分割造成的透明導(dǎo)電層殘留碎片，可有效解決分割后的太陽能電池片光電轉(zhuǎn)化效率降低的問題。[0032] 下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。[0033] 在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。[0034] 在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，還可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是無線連接，也可以是有線連接。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。[0035] 此外，下面所描述的本發(fā)明不同實(shí)施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互結(jié)合。[0036] 實(shí)施例1[0037] 參考圖1～圖3，本實(shí)施例提供一種太陽能電池片的制造方法，包括以下步驟：[0038] S100：形成原片太陽能電池片100，原片太陽能電池片100包括透明導(dǎo)電層。[0039] S200：分割原片太陽能電池片以形成至少兩片切片太陽能電池片200；切片太陽能電池片200具有由分割原片太陽能電池片100而形成的分割面A。[0040] S300：采用干法清洗工藝至少清洗切片太陽能電池片200的分割面A。[0041] S400：進(jìn)行干法清洗工藝之后，在切片太陽能電池片200的表面形成柵線電極。[0042] 本實(shí)施例的太陽能電池片的制造方法，對分割原片太陽能電池片100形成的切片太陽能電池片200進(jìn)行干法清洗，以處理分割原片太陽能電池片100時所形成的透明導(dǎo)電層的殘留碎片，降低載流子發(fā)生復(fù)合的幾率。本發(fā)明中形成柵線電極的步驟在干法清洗之后進(jìn)行，通過調(diào)節(jié)柵線電極的形成順序，并采用干法清洗工藝去除因分割造成的透明導(dǎo)電層殘留碎片，因此干法清洗的步驟不會對柵線電極造成物理損傷，避免對柵線電極的表面平整度造成影響，避免柵線電極的表面平整度因清洗造成缺陷，因此提高了太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，干法清洗工藝對切片太陽能電池片的各膜層損傷較小。[0043] 具體的，當(dāng)太陽能電池片為異質(zhì)結(jié)太陽能電池片時，形成的原片太陽能電池片100如圖2所示，步驟S100包括：提供半導(dǎo)體襯底層101，本實(shí)施例中的半導(dǎo)體襯底層101可以為N型晶硅片；[0044] 在半導(dǎo)體襯底層101一側(cè)表面形成第一本征非晶硅層103；[0045] 在半導(dǎo)體襯底層101另一側(cè)表面形成第二本征非晶硅層102；[0046] 在第一本征非晶硅層103背向半導(dǎo)體襯底層101一側(cè)表面形成第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105，第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105的導(dǎo)電類型與半導(dǎo)體襯底層101的導(dǎo)電類型相反，第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105例如為P型非晶硅層，P型非晶硅層與N型晶硅片形成PN結(jié)；[0047] 在第二本征非晶硅層102背向半導(dǎo)體襯底層101一側(cè)表面形成第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層104；第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層104的導(dǎo)電類型與半導(dǎo)體襯底層101的導(dǎo)電類型相同，第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層104例如為N型非晶硅層，N型非晶硅層與N型晶硅片形成高低結(jié)；[0048] 在第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105背向半導(dǎo)體襯底層101的一側(cè)形成第一透明導(dǎo)電層107；

[0049] 在第二導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層104背向半導(dǎo)體襯底層101的一側(cè)形成第二透明導(dǎo)電層106。

[0050] 參考圖2，對于通常的太陽能電池片分割方法，分割異質(zhì)結(jié)太陽能電池之后，通常會在其第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105(即P型層)一側(cè)殘留第一透明導(dǎo)電層107和半導(dǎo)體襯底層101(N型襯底)的碎片，該些殘留碎片附著于分割面A上會導(dǎo)致第一導(dǎo)電類型半導(dǎo)體層105與第一透明導(dǎo)電層107導(dǎo)通，造成分割后的太陽能電池片光電轉(zhuǎn)化效率降低。而本實(shí)施例的方法可以解決這一問題。

[0051] 采用干法清洗工藝清洗切片太陽能電池片200的步驟S200包括：[0052] 使用清洗氣流吹洗分割面A，之后將切片太陽能電池片200靜置于室溫環(huán)境下；清洗氣流至少包括空氣和惰性氣體，例如可以為氮?dú)?、氬氣、氦氣；清洗氣流的溫度適于使切片太陽能電池片200降溫。通過清洗氣流吹洗的方式，通過清洗氣流吹洗的方式，一方面可通過氣體吹洗分割面A以去除分割面A附著的因分割而形成的部分第一透明導(dǎo)電層107的殘留碎片和附著的雜質(zhì)，提高太陽能電池片的光電轉(zhuǎn)化效率；另一方面通過清洗氣流對切片太陽能電池片降溫，之后再靜置回溫的方式，使得分割面上通過清洗氣流吹洗仍未去除的另一部分第一透明導(dǎo)電層107的殘留碎片，通過氣體降溫?靜置回溫的過程經(jīng)歷一個先冷縮再熱脹的過程，從分割面上自然脫落。此外，通過氣流吹洗分割面A對切片太陽能電池片200的損傷較少。并且可通過氣體的選擇和清洗氣流的裝置的選擇實(shí)現(xiàn)對清洗效果的控制，對殘留碎片的精準(zhǔn)去除。[0053] 在本實(shí)施例中，清洗氣流包括空氣和惰性氣體，例如可以為氮?dú)?、氬氣、氦氣?？諝夂投栊詺怏w清洗分割面A時不會與切片太陽能電池片200的膜層反應(yīng)造成損傷。[0054] 在本實(shí)施例中，太陽能電池片的制造方法還包括：所述清洗氣流中增設(shè)干冰顆粒，在使用所述清洗氣流吹洗所述分割面A的過程中，所述清洗氣流攜帶所述干冰顆粒非平行于所述分割面進(jìn)行噴射。一般情況下，清洗氣流溫度無法持續(xù)保持低溫，可通過干冰顆粒提供降溫。干冰顆粒通過清洗氣流帶出，一部分在噴射到分割面之前氣化降溫，另一部分仍然保留顆粒的狀態(tài)噴射到分割面上，然后氣化。[0055] 對于殘留碎片，既有清洗氣體噴射的效果，還有干冰顆粒碰撞的效果。這樣，一方面可實(shí)現(xiàn)吹洗和碰撞殘留碎片與分割面A表面附著的雜質(zhì)的作用，便于雜質(zhì)脫落；另一方面清洗氣流中含有的干冰顆粒在噴射過程中氣化吸收大量熱，可使得分割面A處于較低的氣氛環(huán)境中，而實(shí)現(xiàn)切片太陽能電池片的快速降溫；并且，干冰顆粒易于氣化實(shí)現(xiàn)自然脫落，不會在分割面A上形成殘留。[0056] 在本實(shí)施例中，通過增設(shè)干冰顆粒，清洗氣流的溫度保持為?120℃～?80℃。清洗氣流的溫度為?120℃～?80℃處于較低的溫度，可使得分割面處于較低的氣氛環(huán)境中快速降溫。此外，若清洗氣流的溫度低于?120℃，會對切片太陽能電池片200的膜層造成損傷；若清洗氣流的溫度高于?80℃，則難以維持較低的溫度，降溫速度不理想。因此清洗氣流的溫度在?120℃～?80℃的范圍內(nèi)，可在較快的降溫速度和盡量少對切片太陽能電池片200膜層造成損傷和之間取得平衡。[0057] 在本實(shí)施例中，噴射清洗氣流的速率為400m/s～900m/s。噴射清洗氣流的速率若小于400m/s，則干冰顆粒在噴射過程中完全氣化，失去顆粒對殘留碎片的沖擊效果；噴射清洗氣流的速率若大于900m/s，則干冰顆?？赡芤驔_擊動能過大，對切片太陽能電池片的膜層造成損傷。噴射清洗氣流的速率在400m/s～900m/s的范圍內(nèi)，可在有效沖擊殘留碎片和對切片太陽能電池片的膜層損傷盡量小之間取得平衡。[0058] 在本實(shí)施例中，清洗氣流的流量為0.5m3/min～3m3/min。清洗氣流的流量若小于3 3

0.5m/min，則難以對殘留碎片實(shí)現(xiàn)去除；若清洗氣流的流量大于3m/min，則可能因流量過大攜帶更多的能量對切片太陽能電池片200造成沖擊或升溫，損傷膜層。清洗氣流的流量在

3 3

0.5m/min～3m /min的范圍內(nèi)，可在有效去除殘留碎片和盡量少的對切片太陽能電池片造成損傷之間取得平衡。

[0059] 在本實(shí)施例中，清洗氣流的吹洗時間為10s～60s。清洗氣流的吹洗時間若小于10s，則難以對殘留碎片實(shí)現(xiàn)去除，且難以實(shí)現(xiàn)對切片太陽能電池片200的降溫；若清洗氣流的時間大于60s，則可能因長時間降溫對切片太陽能電池片200造成損傷。清洗氣流的吹洗時間在10s～60s的范圍內(nèi)，可在有效去除殘留碎片和盡量少的對切片太陽能電池片造成損傷之間取得平衡。

[0060] 在本實(shí)施例中，將切片太陽能電池片200靜置于室溫環(huán)境下的時間為3min～20min。若靜置時間小于3min，則回溫時間不足以使殘留的碎片完成熱脹而脫落，難以對殘留碎片實(shí)現(xiàn)去除；若靜置時間大于20min，則切片太陽能電池片200和分割面A上的殘留碎片已完成回溫，更長的時間不能使附著的殘留碎片形成脫落，反而造成作業(yè)時間的加長，影響生產(chǎn)效率。切片太陽能電池片200靜置于室溫環(huán)境下的時間在3min～20min的范圍內(nèi)，可在有效去除殘留碎片和盡量少的作業(yè)時間之間取得平衡。

[0061] 優(yōu)選的是，所述清洗氣流攜帶所述干冰顆粒非平行于所述分割面進(jìn)行噴射，例如噴射清洗氣流的方向與分割面A之間的夾角角度為15°～90°。[0062] 本發(fā)明的太陽能電池片的制造方法，使用一噴射裝置B向分割面A清洗氣流吹洗。具體的，在本實(shí)施例中，噴射裝置B可以為文丘里噴嘴，即使用文丘里噴嘴向分割面A清洗氣流。文丘里噴嘴原理是根據(jù)貝努力(Bernoulli)射流引力原理，采用合理的幾何曲面參數(shù)設(shè)計而成。文丘里噴嘴在噴嘴引導(dǎo)口周圍形成低壓區(qū)域，利用區(qū)域壓力差以及液動量作用于吸引液體，本質(zhì)是使高速工作射流與被吸引液體共同以設(shè)定的流體輸量進(jìn)入混合擴(kuò)散段，使得流體從錐形噴嘴高速噴射出來，達(dá)到溶液無空氣混合攪拌，從而能噴射出較好的噴霧效果。在本實(shí)施例中，使用文丘里噴嘴向分割面A清洗氣流有利于清洗氣流的流量控制。

[0063] 在本實(shí)施例中，太陽能電池片的制造方法還包括：進(jìn)行干法清洗之后，且在形成柵線電極之前，對切片太陽能電池片200進(jìn)行鈍化處理。[0064] 具體的，對切片太陽能電池片200進(jìn)行鈍化處理的步驟包括：采用鈍化液對分割面進(jìn)行鈍化處理。鈍化處理可以處理分割面上的懸掛鍵，提高太陽能電池片的光電轉(zhuǎn)化效率。[0065] 鈍化液中具有臭氧，臭氧的質(zhì)量濃度為30PPM～300PPM，例如可以為30PPM、60PPM、90PPM、120PPM、180PPM、240PPM、300PPM。鈍化液中臭氧的質(zhì)量濃度為若小于30PPM，則對分割面的懸掛鍵氧化鈍化效果不佳；臭氧的質(zhì)量濃度若大于300PPM，則可能對膜層產(chǎn)生過多損傷，影響光電轉(zhuǎn)化效率。因此鈍化液中臭氧的質(zhì)量濃度在30PPM～300PPM的范圍，可在較佳的鈍化效果和較小的損傷之間取得平衡。

[0066] 鈍化處理的時間為20s～180s，例如可以為20s、40s、60s、120s、180s。鈍化處理的時間若小于20s，則對分割面的懸掛鍵氧化鈍化效果不佳；鈍化處理的時間若大于180s，則可能對膜層產(chǎn)生過多損傷，影響光電轉(zhuǎn)化效率。因此鈍化處理的時間在20s～180s的范圍，可在較佳的鈍化效果和較小的損傷之間取得平衡。[0067] 進(jìn)一步的，太陽能電池片的制造方法還包括：進(jìn)行鈍化處理之后，且在形成柵線電極之前，對切片太陽能電池片200進(jìn)行水洗處理；進(jìn)行水洗處理之后，對切片太陽能電池片200進(jìn)行干燥處理。水洗處理避免鈍化液殘留在切片太陽能電池片200的表面，避免對柵線電極的形成造成不利影響。干燥處理去除切片太陽能電池片200表面的水分，利于柵線電極制程的進(jìn)行。

[0068] 顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清除地說明所作的舉例，而并非對實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。