本發(fā)明提供了一種NiMnX(X=In、Ga、Sn,其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制備方法。該方法將熔煉鑄造法與
粉末冶金法相結(jié)合,首先利用熔煉鑄造法制備Ni-Mn-X合金錠,以提高合金密度,并且提高合金純度,然后將合金錠研磨成合金粉,以提高合金的熔點,最后利用粉末冶金法制備NiMnX合金靶材。與現(xiàn)有技術(shù)中單純采用熔煉鑄造法或粉末冶金法制備NiMnX靶材的方法相比,本發(fā)明利用了這兩種方法的優(yōu)點,同時有效避免了這兩種方法的不足,能夠制得具有晶粒小、不易開裂、成分均勻、雜質(zhì)含量低的高性能合金靶材。
聲明:
“NiMnX合金靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)