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基于電催化性能提高Cr-Si高阻膜電阻器耐濕熱性能的方法

1095   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:27
本發(fā)明公開了一種基于電催化性能提高Cr-Si高阻膜電阻器耐濕熱性能的方法,首先以Cr粉、Si粉、Ni粉、Mo粉和W粉為原料,通過(guò)粉末冶金法制備Cr-Si基靶材,在中頻真空冶煉爐中分別煉制Cr-Si-Ni靶材、Cr-Si-Ni-Mo靶材和Cr-Si-Ni-W靶材;再將靶材于磁控濺射鍍膜機(jī)上制備電阻器高阻膜,并將高阻膜調(diào)至阻值為249kΩ,±0.5%;再以納米二氧化硅增強(qiáng)型酚醛-環(huán)氧樹脂復(fù)合涂料進(jìn)行封裝。本發(fā)明在高溫、高濕條件下的電阻變化率為0.03%~0.16%。
聲明:
“基于電催化性能提高Cr-Si高阻膜電阻器耐濕熱性能的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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