本發(fā)明的目的在于,提供一種即使導(dǎo)入較高的輸入電力也能減少濺射時(shí)產(chǎn)生的電弧,并且能有效地防止濺射靶自身破裂的濺射靶。本發(fā)明的濺射靶是通過
粉末冶金方法制造的板狀濺射靶,其特征在于,存在于該濺射靶內(nèi)的針孔所占有的比例,在該濺射靶內(nèi)的下表面一側(cè)附近比上表面一側(cè)附近更高。
聲明:
“對(duì)針孔的占有比例進(jìn)行調(diào)節(jié)的濺射靶及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)