本發(fā)明是由貴金屬構(gòu)成的濺射靶材,其特征在于,具有相對(duì)于濺射面沿法線方向生長(zhǎng)的柱狀結(jié)晶組織,本發(fā)明解決了具有該特征的濺射靶材的問(wèn)題。本發(fā)明不產(chǎn)生由熔解鑄造法或
粉末冶金法得到的濺射靶材產(chǎn)生的微小成堆塊狀體脫落的問(wèn)題,是能夠得到良好薄膜特性、同時(shí)內(nèi)部缺陷極少的高純度濺射用貴金屬靶材。
聲明:
“濺射靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)